| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 前言 | 第9-10页 |
| 第1章 文献综述 | 第10-28页 |
| ·透明导电薄膜的研究意义 | 第10页 |
| ·ZnO的结构及基本性质 | 第10-13页 |
| ·ZnO的晶体机构 | 第10-12页 |
| ·ZnO薄膜的电学特性 | 第12页 |
| ·ZnO薄膜的光学特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO薄膜的气敏特性 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的压电特性 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜及其掺杂体系 | 第13-17页 |
| ·ZnO薄膜及其掺杂体系 | 第14-16页 |
| ·氢杂质对ZnO薄膜的影响 | 第16-17页 |
| ·ZnO薄膜的主要应用 | 第17-18页 |
| ·ZnO-TCO薄膜的制备方法 | 第18-26页 |
| ·磁控溅射法 | 第18页 |
| ·化学气相沉积的ZnO薄膜制备工艺 | 第18-20页 |
| ·喷涂热分解法制备透明导电薄膜 | 第20-22页 |
| ·溶胶凝胶法制备ZnO基TCO薄膜的工艺 | 第22-25页 |
| ·其他透明导电薄膜的制备技术 | 第25页 |
| ·不同技术沉积的氧化锌薄膜的性能比较 | 第25-26页 |
| ·本课题的提出 | 第26-28页 |
| 第2章 实验方法 | 第28-34页 |
| ·实验试剂与仪器 | 第28页 |
| ·测试与表征 | 第28-34页 |
| ·薄膜方块电阻的测量 | 第28-30页 |
| ·薄膜透过率的测量 | 第30-31页 |
| ·薄膜表面形貌的观察 | 第31-32页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第32页 |
| ·薄膜热性能的测试 | 第32-33页 |
| ·涂层硬度的测试 | 第33页 |
| ·涂层的附着力测试 | 第33-34页 |
| 第3章 溶胶凝胶法制备ZnO:Al和ZnO:La透明导电薄膜 | 第34-42页 |
| ·引言 | 第34-35页 |
| ·实验方法 | 第35-37页 |
| ·样品制备 | 第35-37页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第37页 |
| ·结果与讨论 | 第37-41页 |
| ·溶液浓度对薄膜的影响 | 第37-38页 |
| ·Al~(3+)掺杂浓度对薄膜的影响 | 第38-39页 |
| ·La~(3+)掺杂浓度对薄膜的影响 | 第39-41页 |
| ·溶胶陈腐天数对薄膜的影响 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 溶胶凝胶法制备La~(3+)/Al~(3+)共掺ZnO透明导电薄膜 | 第42-57页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·实验方法 | 第42页 |
| ·结果与讨论 | 第42-56页 |
| ·La~(3+)/Al~(3+)的先后掺杂对薄膜方块电阻的影响 | 第42-43页 |
| ·预处理条件对薄膜的影响 | 第43-50页 |
| ·热处理条件对薄膜的影响 | 第50-53页 |
| ·涂膜层数对薄膜的影响 | 第53-54页 |
| ·薄膜的力学性能 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 结论与展望 | 第57-59页 |
| ·结论 | 第57页 |
| ·展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 | 第66页 |
