| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-12页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第12-14页 |
| ·课题研究背景 | 第12-13页 |
| ·课题研究意义 | 第13-14页 |
| ·可调微镜静电微驱动器的研究现状 | 第14-15页 |
| ·基于硅基氮化镓可调微镜微驱动器的研究现状 | 第15-16页 |
| ·论文的主要工作和研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 MEMS微驱动原理 | 第18-29页 |
| ·各种微驱动器的驱动原理 | 第18-22页 |
| ·压电微驱动器 | 第18-19页 |
| ·电磁微驱动器 | 第19-20页 |
| ·热微驱动器 | 第20-21页 |
| ·形状记忆合金微驱动器 | 第21-22页 |
| ·静电微驱动原理 | 第22-27页 |
| ·平板静电微驱动器 | 第22-24页 |
| ·梳齿型静电微驱动器 | 第24-27页 |
| ·静电驱动器的优点与存在的不足 | 第27页 |
| ·几种微驱动器的比较 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的仿真 | 第29-45页 |
| ·MEMS设计技术的分析 | 第29-30页 |
| ·有限元法 | 第30-31页 |
| ·有限元法原理 | 第30页 |
| ·有限元法特点 | 第30-31页 |
| ·基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的仿真分析 | 第31-43页 |
| ·模型的建立 | 第31-34页 |
| ·仿真结果分析 | 第34-40页 |
| ·基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的模态分析 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 基于氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的加工与测试 | 第45-55页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第45-48页 |
| ·图形转移 | 第45-46页 |
| ·湿法腐蚀与干法刻蚀 | 第46-47页 |
| ·薄膜的制备 | 第47-48页 |
| ·基于硅基氮化镓可调微镜梳齿型微驱动器的加工与制作 | 第48-52页 |
| ·氮化镓薄膜的生长 | 第48-50页 |
| ·可调微镜的加工与制作 | 第50-52页 |
| ·可调微镜梳齿型微驱动器的测试 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·工作总结 | 第55-56页 |
| ·工作展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第60-61页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第61-62页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
