| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 专用术语注释表 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| ·引言 | 第10-16页 |
| ·MEMS的发展历史 | 第10-12页 |
| ·MEMS国内外研究状况 | 第12-15页 |
| ·MEMS的加工工艺 | 第15-16页 |
| ·GaN材料性能以及在MEMS中的应用 | 第16-18页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第18-21页 |
| ·课题研究的背景 | 第18-20页 |
| ·课题研究的意义 | 第20-21页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第21-23页 |
| 第二章 MEMS驱动器及静电梳齿驱动器工作原理 | 第23-32页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·微驱动器的分类 | 第23-25页 |
| ·静电微驱动器工作原理 | 第25-31页 |
| ·平行平板驱动器工作原理 | 第25-28页 |
| ·静电梳状驱动器工作原理 | 第28-31页 |
| ·静电微驱动器的优缺点 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 硅基氮化镓静电梳状微驱动器的仿真分析 | 第32-41页 |
| ·前言 | 第32页 |
| ·有限元分析和COMSOL Multiphysics | 第32-34页 |
| ·硅基氮化镓静电微驱动器的仿真分析 | 第34-40页 |
| ·模型建立 | 第34-36页 |
| ·模拟仿真分析 | 第36-38页 |
| ·静电微驱动器模态分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅的设计和加工 | 第41-58页 |
| ·前言 | 第41页 |
| ·MOMES以及微光栅的应用 | 第41-42页 |
| ·基本结构 | 第42-43页 |
| ·光栅设计 | 第43-45页 |
| ·亚波长光栅和导模共振原理 | 第43-44页 |
| ·光栅模拟仿真分析 | 第44-45页 |
| ·可动光栅微镜的梳状静电驱动设计 | 第45-54页 |
| ·正交驱动原理 | 第45-48页 |
| ·模型建立 | 第48-49页 |
| ·模拟仿真结果分析及优化 | 第49-53页 |
| ·模态分析 | 第53-54页 |
| ·基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅的微加工 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅的实验与特性测试 | 第58-66页 |
| ·前言 | 第58页 |
| ·测试仪器 | 第58-59页 |
| ·基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅微镜 | 第59-62页 |
| ·基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅微镜的FE-SEM图 | 第59-61页 |
| ·基于图形化SOI衬底的氮化镓可动光栅的位移 | 第61-62页 |
| ·InGaN/GaN多量子阱薄膜光致发光光谱特性研究 | 第62-65页 |
| ·光致发光光谱（PL） | 第62-63页 |
| ·InGaN/GaN多量子阱薄膜的光学特性 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·本论文工作总结 | 第66-67页 |
| ·未来进一步工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第71-72页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
