基于MEMS光源的三椭球体吸收腔室甲烷检测系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·课题研究背景和意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究动态 | 第14-17页 |
| ·国外研究动态 | 第14-15页 |
| ·国内研究现状 | 第15-17页 |
| ·本文研究内容和结构 | 第17-19页 |
| 第二章 红外甲烷传感器检测原理和方法 | 第19-25页 |
| ·红外吸收技术 | 第19-20页 |
| ·红外光谱分析 | 第19页 |
| ·NDIR技术 | 第19-20页 |
| ·红外甲烷传感器检测原理 | 第20-21页 |
| ·差分吸收法 | 第21-24页 |
| ·双光路单波长差分吸收法 | 第22-23页 |
| ·单光路双波长差分吸收法 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 红外吸收气室结构设计 | 第25-39页 |
| ·红外吸收气室的分类 | 第25-27页 |
| ·直射式红外吸收气室 | 第25-26页 |
| ·反射式红外吸收气室 | 第26-27页 |
| ·红外吸收气室的结构设计 | 第27-29页 |
| ·三椭球体吸收气室结构 | 第27-28页 |
| ·三椭球体吸收气室光反射研究 | 第28-29页 |
| ·镀膜材料选择 | 第29-30页 |
| ·三椭球体红外吸收气室的仿真研究 | 第30-35页 |
| ·光学软件Light Tools | 第30-31页 |
| ·吸收气室的仿真研究 | 第31-35页 |
| ·传感器分辨率理论推导 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 MEMS红外光源的设计 | 第39-55页 |
| ·前言 | 第39页 |
| ·MEMS的材料及技术 | 第39-40页 |
| ·常见红外光源类型 | 第40-43页 |
| ·红外二极管 | 第40-41页 |
| ·激光器 | 第41页 |
| ·热辐射红外光源 | 第41-43页 |
| ·MEMS红外光源辐射原理 | 第43-44页 |
| ·工作原理 | 第43页 |
| ·电光转化率 | 第43-44页 |
| ·MEMS红外光源的设计 | 第44-47页 |
| ·光源材料的选择 | 第44-45页 |
| ·MEMS红外光源的结构设计 | 第45-47页 |
| ·MEMS红外光源仿真研究 | 第47-53页 |
| ·COMSOL Multiphysics仿真软件 | 第47页 |
| ·MEMS红外光源模型参数优化 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 红外甲烷传感器硬件电路及软件程序设计 | 第55-71页 |
| ·系统总结构 | 第55页 |
| ·单片机的选择 | 第55-56页 |
| ·硬件电路设计 | 第56-64页 |
| ·电源电路 | 第56-59页 |
| ·充电电路 | 第56-57页 |
| ·升压电路 | 第57-58页 |
| ·降压电路 | 第58-59页 |
| ·MEMS红外光源驱动电路 | 第59-60页 |
| ·放大滤波电路 | 第60-64页 |
| ·放大倍数理论值计算 | 第61-62页 |
| ·Proteus仿真分析 | 第62-64页 |
| ·系统软件设计 | 第64-69页 |
| ·主程序设计 | 第64-66页 |
| ·初始化子程序设计 | 第66-67页 |
| ·定时器初始化子程序设计 | 第66页 |
| ·A/D模块初始化设计 | 第66-67页 |
| ·信号采集设计 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术成果 | 第81页 |
