| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章：引言 | 第8-16页 |
| ·ZnO 薄膜的性质 | 第8-10页 |
| ·ZnO薄膜的生长方法 | 第10-11页 |
| ·ZnO 薄膜材料的应用 | 第11-13页 |
| ·本文研究的思路和主要内容 | 第13-14页 |
| 参考文献 | 第14-16页 |
| 第二章：薄膜的制备和表征 | 第16-29页 |
| ·射频磁控溅射沉积技术 | 第16-17页 |
| ·样品的制备 | 第17-18页 |
| ·基片的清洗 | 第18页 |
| ·薄膜样品的退火后处理 | 第18-19页 |
| ·薄膜的表征 | 第19-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章：不同温度退火后 ZnO 薄膜的结构和光致发光性质 | 第29-35页 |
| ·经不同温度退火的ZnO 薄膜的结构分析 | 第29-32页 |
| ·经不同温度退火的ZnO 薄膜的光致发光分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-35页 |
| 第四章：Fe 掺杂对 ZnO 薄膜结构的影响 | 第35-42页 |
| ·Fe 掺杂前后ZnO 薄膜生长初期的结构分析 | 第35-36页 |
| ·厚的Fe掺杂ZnO薄膜的结构分析 | 第36-38页 |
| ·Fe 掺杂ZnO 薄膜的分形生长机制 | 第38页 |
| ·退火温度对厚的Fe掺杂ZnO薄膜的结构影响 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-42页 |
| 第五章：Cr 掺杂 ZnO 薄膜的结构和性质研究 | 第42-52页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的XRD分析 | 第42-43页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜的Raman 分析 | 第43-44页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜的XPS 测试分析 | 第44页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜的紫外-可见光谱分析 | 第44-45页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO薄膜的PL谱分析 | 第45-46页 |
| ·Zn_(1-x)Cr_xO 薄膜的磁性分析 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 第六章：结论 | 第52-54页 |
| 硕士期间发表文章目录 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
