| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 概述 | 第8-21页 |
| ·加速度传感器概述 | 第8-9页 |
| ·MEMS概述 | 第9-11页 |
| ·MEMS加速度传感器 | 第11-20页 |
| ·MEMS加速度传感器工作原理 | 第11-12页 |
| ·MEMS加速度传感器分类 | 第12-18页 |
| ·MEMS加速度传感器发展趋势及本课题的意义 | 第18-20页 |
| ·本论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 吸合时间式加速度传感器原理及设计 | 第21-36页 |
| ·吸合时间式加速度传感器原理 | 第21-35页 |
| ·原理概述 | 第21-24页 |
| ·悬臂梁结构─吸合时间式加速度传感器原理与模拟结果 | 第24-32页 |
| ·优化设计 | 第32-35页 |
| ·吸合时间式加速度传感器件的设计 | 第35-36页 |
| 第三章 基于准LIGA工艺研究 | 第36-44页 |
| ·概述 | 第36-37页 |
| ·厚胶光刻 | 第37-39页 |
| ·电镀 | 第39-41页 |
| ·应力 | 第41-44页 |
| 第四章 传感器的制作 | 第44-48页 |
| ·Au结构加速度传感器制作 | 第44-46页 |
| ·Si结构加速度传感器制作 | 第46-48页 |
| 第五章 测试 | 第48-59页 |
| ·电路设计 | 第48-54页 |
| ·电容检测电路 | 第48-52页 |
| ·接触式检测电路设计 | 第52-54页 |
| ·测试结果与讨论 | 第54-59页 |
| ·电容检测方式 | 第54-58页 |
| ·接触式检测方式 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 个人简历 | 第66-67页 |