微反射镜阵列的设计和工艺研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
1 绪论	第9-16页
·MEMS 技术& MOEMS 技术	第9-11页
·微反射镜阵列的发展历程	第11-15页
·微镜阵列的发展方向	第15页
·本文的主要工作	第15-16页
2 微反射镜阵列的总体设计	第16-27页
·微镜装置的基本结构设计	第16-18页
·微镜的尺寸设计	第18-21页
·微镜的制作材料及工艺流程设计	第21-25页
·阵列的控制方式	第25-26页
·本章小结	第26-27页
3 微镜单元的有限元模拟分析	第27-46页
·有限元分析	第27-28页
·微反射镜的动态模型	第28-31页
·微反射镜的ANSYS 分析步骤	第31-35页
·分析结果	第35-44页
·本章小结	第44-46页
4 双层金属布线的制作	第46-59页
·制作寻址电极	第46-52页
·作双层布线之间的绝缘层	第52-57页
·着陆电极	第57-58页
·本章小结	第58-59页
5 悬浮微镜结构的制作工艺	第59-68页
·悬浮微镜结构的牺牲层工艺	第59-62页
·化学镀镍制作微镜支柱及电互连	第62-65页
·牺牲层的释放	第65-66页
·本章小结	第66-68页
6 全文总结	第68-70页
致谢	第70-71页
参考文献	第71-75页
附录 I 攻读硕士学位期间所发表的论文目录	第75页