基于声表面波技术的新型气体传感器的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 第一节 声表面波技术的发展和应用 | 第12-15页 |
| 第二节 声表面波传感器的发展和应用 | 第15-19页 |
| 第三节 本论文的研究内容和安排 | 第19-21页 |
| 第二章 声表面波原理及基本分析模型 | 第21-55页 |
| 第一节 声表面波的激发和传播 | 第21-24页 |
| ·叉指换能器的基本结构 | 第21-22页 |
| ·叉指换能器的基本工作原理和特性 | 第22-24页 |
| 第二节 压电材料中的声表面波的传播 | 第24-30页 |
| ·瑞利波的基本特性 | 第24-26页 |
| ·各向同性介质中的弹性波方程 | 第26-28页 |
| ·压电介质中的声表面波 | 第28-30页 |
| 第三节 声表面波器件的分析模型 | 第30-38页 |
| ·声表面波器件的分类 | 第30-33页 |
| ·脉冲模型 | 第33-34页 |
| ·等效电路模型 | 第34-35页 |
| ·耦合模模型 | 第35-36页 |
| ·P矩阵模型 | 第36-37页 |
| ·有限元分析模型 | 第37-38页 |
| ·格林函数法 | 第38页 |
| 第四节 声表面波用压电材料 | 第38-44页 |
| ·声表面波用压电材料的选择 | 第39-40页 |
| ·压电晶体的切割 | 第40-43页 |
| ·坐标系与晶体坐标系的关系 | 第43-44页 |
| 第五节 不同基底材料不同切向声表面波器件的仿真 | 第44-53页 |
| ·有限元法仿真工具 | 第44-47页 |
| ·不同基底材料不同切向声表面波器件的仿真 | 第47-53页 |
| 本章小结 | 第53-55页 |
| 第三章 声表面波气体传感器的设计 | 第55-65页 |
| 第一节 声表面波气体传感器的基本形式 | 第55-57页 |
| 第二节 声表面波气体传感器的制作 | 第57-64页 |
| ·基底材料的选择 | 第57页 |
| ·声表面波器件的制作 | 第57-64页 |
| 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 声表面波气体传感器的初步研究 | 第65-89页 |
| 第一节 声表面波气体传感器的理论基础 | 第65-73页 |
| ·延迟线型声表面波气体传感器的理论分析 | 第65-68页 |
| ·敏感薄膜厚度对传感器灵敏度影响的理论分析 | 第68-72页 |
| ·声表面波气体传感器频率响应的线性分析 | 第72-73页 |
| 第二节 声表面波气体传感器的实验分析 | 第73-88页 |
| ·声表面波敏感薄膜的选取与制备 | 第73-78页 |
| ·气体传感器频率特性分析 | 第78-80页 |
| ·声表面波气体传感器幅度特性分析 | 第80-83页 |
| ·声表面波气体传感器差频检测实验 | 第83-86页 |
| ·声表面波气体传感器频率和幅度同时检测的实验研究 | 第86-87页 |
| ·声表面波气体传感器温度研究 | 第87-88页 |
| 本章小论 | 第88-89页 |
| 第五章 驱动电路与检测电路的设计 | 第89-102页 |
| 第一节 基于网络分析仪的驱动和检测 | 第89-90页 |
| 第二节 基于电路设计的驱动和检测 | 第90-101页 |
| ·驱动电路的设计 | 第90-94页 |
| ·频率检测电路设计 | 第94-98页 |
| ·峰值检测电路设计 | 第98-101页 |
| 本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 总结与展望 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-110页 |
| 致谢 | 第110-111页 |
| 攻读博士期间发表的学术论文与科研成果 | 第111-112页 |
