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基于ZnO薄膜吸收光谱温变特性的光纤温度传感器的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-9页
符号说明第9-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·课题研究的口的与意义第10-11页
   ·温度传感器第11页
   ·光纤传感系统概述第11-15页
     ·光纤传感器分类第12-14页
     ·光纤传感器的技术特点第14页
     ·光纤传感器的研究现状及其应用第14-15页
   ·光纤温度传感器概述第15-16页
     ·光纤温度传感器分类第16页
     ·传光型光纤温度传感器的技术特点第16页
   ·课题的来源与内容第16-17页
   ·内容安排第17-18页
第二章 敏感材料选择与测温传感原理第18-24页
   ·敏感材料概述第18-19页
   ·敏感材料的分类第19-20页
     ·温敏金属材料第19-20页
     ·温敏陶瓷材料第20页
   ·温敏半导体材料第20-21页
   ·新型半导体材料ZnO薄膜第21-22页
   ·ZnO薄膜在光纤温度传感器中的应用第22-24页
     ·半导体材料的光学吸收特性第22-23页
     ·基于氧化锌薄膜温度传感器的测温原理第23-24页
第二章 基于ZnO薄膜透射光谱光纤温度传感器的光路系统设计第24-42页
   ·光纤传光原理第24-25页
   ·光纤的分类第25-28页
   ·光纤特性与选择第28-30页
     ·传输特性第28-29页
     ·色散第29页
     ·本课题中所用光纤第29-30页
   ·光源特性与选择第30-33页
     ·光源特性第30-31页
     ·典型光源第31页
     ·本课题中所选光源第31-33页
   ·测温系统探头的制备第33-38页
     ·ZnO薄膜的制备方法概述第33-35页
     ·电子束蒸发制备ZnO薄膜第35-36页
     ·ZnO薄膜的表面形貌与结构分析第36-38页
   ·光纤光谱仪的选择第38页
   ·测温系统方案第38-42页
     ·透射式测温系统方案第38-40页
     ·反射式测温系统方案第40-42页
第四章 测量结果与讨论第42-46页
   ·透射式测量结果与分析第42-45页
   ·反射式测量结果与分析第45-46页
第五章 总结与展望第46-49页
   ·总结第46页
   ·工作展望第46-49页
参考文献第49-53页
致谢第53-54页
硕士期间发表的论文第54页

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