| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 基于局域表面等离子体光刻技术概述 | 第12-15页 |
| 1.3 国内外研究发展现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 基于局域SP光刻直写技术研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.2 微小角度检测技术研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 论文研究来源及内容 | 第19-21页 |
| 第二章 直写头工作过程及变形仿真分析 | 第21-35页 |
| 2.1 直写头结构及工作过程介绍 | 第21-23页 |
| 2.1.1 直写头结构 | 第21-22页 |
| 2.1.2 直写头工作过程介绍 | 第22-23页 |
| 2.2 外在因素对直写头变形影响的仿真分析 | 第23-33页 |
| 2.2.1 有限元方法和ANSYS Workbench软件介绍 | 第24页 |
| 2.2.2 基于ANSYS Workbench直写头变形仿真过程 | 第24-30页 |
| 2.2.3 外在因素对直写头影响仿真分析 | 第30-33页 |
| 2.3 直写头变形检测问题的提出 | 第33-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 直写头变形检测方法可行性分析及选择 | 第35-53页 |
| 3.1 基于电容位移传感器位移检测可行性分析 | 第35-38页 |
| 3.1.1 电容位移传感器介绍 | 第35-36页 |
| 3.1.2 电容位移传感器检测方案分析 | 第36-38页 |
| 3.2 基于光束偏转法直写头变形检测可行性分析 | 第38-52页 |
| 3.2.1 光束偏转法理论介绍 | 第38-40页 |
| 3.2.2 基于光束偏转法微小角度检测的建模 | 第40-43页 |
| 3.2.3 模型简化与仿真 | 第43-45页 |
| 3.2.4 模型误差仿真分析 | 第45-51页 |
| 3.2.5 数学模型分析结论 | 第51-52页 |
| 3.3 直写头变形检测方法选择 | 第52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 基于光束偏转法直写头变形检测方案设计 | 第53-65页 |
| 4.1 检测方案设计概述 | 第53-54页 |
| 4.2 光源和光电传感器种类选择 | 第54-56页 |
| 4.2.1 光源种类选择 | 第54-55页 |
| 4.2.2 光电传感器种类选择 | 第55-56页 |
| 4.3 PSD相关理论介绍 | 第56-59页 |
| 4.3.1 PSD原理介绍 | 第56-58页 |
| 4.3.2 PSD参数及影响因素 | 第58-59页 |
| 4.4 直写头微偏转检测方案设计 | 第59-64页 |
| 4.4.1 工作条件和检测指标要求 | 第59-60页 |
| 4.4.2 光路结构设计与参数计算 | 第60-62页 |
| 4.4.3 光源的选择 | 第62页 |
| 4.4.4 光斑计算 | 第62-64页 |
| 4.4.5 PSD的选择 | 第64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 基于Lab VIEW的数据采集模块软件设计 | 第65-74页 |
| 5.1 Lab VIEW及相关函数介绍 | 第65-66页 |
| 5.1.1 Lab VIEW简介 | 第65页 |
| 5.1.2 相关函数介绍 | 第65-66页 |
| 5.2 Lab VIEW与USB采集模块的通讯 | 第66-69页 |
| 5.2.1 USB采集模块的选择 | 第66-68页 |
| 5.2.2 数据采集设备参数配置 | 第68-69页 |
| 5.3 数据采集界面软件设计 | 第69-73页 |
| 5.3.1 数据采集流程设计 | 第70-71页 |
| 5.3.2 数据采集界面设计 | 第71-73页 |
| 5.4 本章总结 | 第73-74页 |
| 第六章 实验平台及误差分析 | 第74-79页 |
| 6.1 实验平台搭建 | 第74页 |
| 6.2 误差分析 | 第74-78页 |
| 6.2.1 检测原理性误差 | 第75页 |
| 6.2.2 机械方面的误差 | 第75-77页 |
| 6.2.3 光学电学上的误差 | 第77-78页 |
| 6.3 本章小结 | 第78-79页 |
| 第七章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 7.1 全文总结 | 第79-80页 |
| 7.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
