| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 BST薄膜的研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 BST薄膜的结构及介电性能 | 第12-16页 |
| 1.2.1 BST薄膜的结构 | 第12-13页 |
| 1.2.2 BST薄膜的介电性能 | 第13-16页 |
| 1.3 BST薄膜的应用 | 第16-17页 |
| 1.3.1 移相器 | 第16页 |
| 1.3.2 热释电红外探测器 | 第16-17页 |
| 1.3.3 动态随机存储器 | 第17页 |
| 1.4 K和Mg掺杂BST薄膜的研究进展 | 第17-21页 |
| 1.4.1 BST薄膜的掺杂理论 | 第17-19页 |
| 1.4.2 K掺杂BST薄膜研究进展 | 第19页 |
| 1.4.3 Mg掺杂BST薄膜的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.4.4 复合掺杂BST薄膜的研究进展 | 第20-21页 |
| 1.5 STO薄膜的性质及研究现状 | 第21-22页 |
| 1.6 论文内容安排 | 第22-24页 |
| 第二章 BST薄膜的制备及实验方案研究 | 第24-36页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 BST薄膜的制备工艺 | 第24页 |
| 2.3 溶胶凝胶法的基本原理及特点 | 第24-25页 |
| 2.3.1 溶胶凝胶法基本原理 | 第24-25页 |
| 2.3.2 溶胶凝胶法的特点 | 第25页 |
| 2.4 BST薄膜制备的工艺流程 | 第25-29页 |
| 2.4.1 实验仪器及原料 | 第25-27页 |
| 2.4.2 前驱液及溶胶制备 | 第27-28页 |
| 2.4.3 薄膜制备及热处理 | 第28-29页 |
| 2.5 BST薄膜的性能表征 | 第29-32页 |
| 2.5.1 微观结构的表征 | 第29-30页 |
| 2.5.2 电学性能表征 | 第30-32页 |
| 2.6 论文实验方案 | 第32-35页 |
| 2.6.1 掺杂元素的选取 | 第32-34页 |
| 2.6.2 薄膜结构的设计 | 第34-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章K和Mg掺杂BST薄膜的结构及介电特性研究 | 第36-59页 |
| 3.1 薄膜结构的影响 | 第36-41页 |
| 3.1.1 XRD分析 | 第36-37页 |
| 3.1.2 介电性能测试 | 第37-39页 |
| 3.1.3 介电特性分析 | 第39-41页 |
| 3.2 BST/STO/BST结构单一掺杂BST薄膜 | 第41-46页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第41-44页 |
| 3.2.2 介电性能测试 | 第44-45页 |
| 3.2.3 介电特性分析 | 第45-46页 |
| 3.3 STO/BST/STO结构单一掺杂BST薄膜 | 第46-51页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第46-49页 |
| 3.3.2 介电性能测试 | 第49-50页 |
| 3.3.3 介电特性分析 | 第50-51页 |
| 3.4 复合掺杂BST薄膜 | 第51-56页 |
| 3.4.1 XRD分析 | 第51-53页 |
| 3.4.2 介电性能测试 | 第53-55页 |
| 3.4.3 介电特性分析 | 第55-56页 |
| 3.5 SEM分析 | 第56-57页 |
| 3.6 本章小结 | 第57-59页 |
| 第四章 复合掺杂BST薄膜的优化研究 | 第59-79页 |
| 4.1 交叉浓度研究 | 第59-64页 |
| 4.1.1 XRD分析 | 第59-62页 |
| 4.1.2 介电性能测试 | 第62-63页 |
| 4.1.3 介电特性分析 | 第63-64页 |
| 4.2 Mg掺杂浓度优化研究 | 第64-69页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第64-66页 |
| 4.2.2 介电性能测试 | 第66-68页 |
| 4.2.3 介电特性分析 | 第68-69页 |
| 4.3 低浓度掺杂优化研究 | 第69-74页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第70-72页 |
| 4.3.2 介电性能测试 | 第72-73页 |
| 4.3.3 介电特性分析 | 第73-74页 |
| 4.4 频率特性分析 | 第74-76页 |
| 4.5 SEM分析 | 第76-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第五章 结论与展望 | 第79-81页 |
| 5.1 主要结论 | 第79-80页 |
| 5.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-90页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第90-91页 |