| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题的背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外光学研抛技术的研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 手工研抛 | 第10-11页 |
| 1.2.2 CCOS研抛 | 第11-12页 |
| 1.2.3 应力盘研抛 | 第12-13页 |
| 1.2.4 浮法抛光 | 第13-14页 |
| 1.2.5 磁流变抛光 | 第14-15页 |
| 1.3 主要工作内容 | 第15页 |
| 1.4 本章小结 | 第15-16页 |
| 2 大口径光学研抛机器人技术方案 | 第16-22页 |
| 2.1 光学研抛机器人总体方案设计 | 第16-17页 |
| 2.2 光学研抛机器人系统总体控制方案设计 | 第17-18页 |
| 2.3 研抛机器人研抛磨头系统方案设计 | 第18-21页 |
| 2.3.1 研抛理论 | 第19页 |
| 2.3.2 研抛磨头机械结构设计 | 第19-21页 |
| 2.3.3 研抛磨头气动压力控制方案设计 | 第21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 磨头气动压力控制系统设计 | 第22-38页 |
| 3.1 气动控制系统控制电路设计 | 第22-29页 |
| 3.1.1 双路气压系统气动回路设计 | 第22-23页 |
| 3.1.2 气动元件选型 | 第23-26页 |
| 3.1.3 气动控制电路设计 | 第26页 |
| 3.1.4 系统反馈系统设计 | 第26-29页 |
| 3.2 磨头气动控制器设计 | 第29-34页 |
| 3.2.1 研抛压力控制原理 | 第29-31页 |
| 3.2.2 系统控制模型建立 | 第31-32页 |
| 3.2.3 高精度控制器设计 | 第32-34页 |
| 3.3 保护电路设计 | 第34-35页 |
| 3.4 系统控制柜设计 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 4 磨头气动压力控制系统软件设计与实现 | 第38-53页 |
| 4.1 系统控制器程序设计 | 第38-44页 |
| 4.1.1 Motion Perfect2 | 第38-41页 |
| 4.1.2 研抛压力控制器程序设计 | 第41-42页 |
| 4.1.3 通讯协议及软件接口设计 | 第42-44页 |
| 4.2 压力检测装置软件设计 | 第44-49页 |
| 4.2.1 压力传感器参数设置和校正 | 第45-48页 |
| 4.2.2 程序设计 | 第48-49页 |
| 4.3 上位机控制软件设计 | 第49-52页 |
| 4.3.1 通讯程序设计 | 第50页 |
| 4.3.2 ZedGraph控件实现数据的实现显示 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 5 磨头测控平台搭建及实验测试 | 第53-59页 |
| 5.1 磨头测试平台搭建 | 第53-54页 |
| 5.2 研抛磨头实验测试 | 第54-58页 |
| 5.2.1 系统性能指标测试 | 第54-55页 |
| 5.2.2 系统模拟工作实验 | 第55-58页 |
| 5.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 附录 | 第64页 |
| A．作者在攻读硕士学位期间发表的论文和专利： | 第64页 |
| B．作者在攻读硕士学位期间所参加的科研项目： | 第64页 |
| C. 作者在攻读硕士学位期间所获荣誉： | 第64页 |