| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-34页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 表面电势测量技术 | 第15-19页 |
| 1.2.1 基于光电效应的光电发射电子显微镜技术 | 第15-16页 |
| 1.2.2 基于电子束感应电流的电子显微镜技术 | 第16-17页 |
| 1.2.3 基于静电相互作用的开尔文技术 | 第17-19页 |
| 1.2.4 表面电势测量技术简析 | 第19页 |
| 1.3 开尔文探针测量方法的国内外研究现状 | 第19-32页 |
| 1.3.1 传统KPFM研究现状 | 第19-26页 |
| 1.3.2 多参数KPFM研究现状 | 第26-29页 |
| 1.3.3 三维KPFM研究现状 | 第29-31页 |
| 1.3.4 KPFM研究现状简析 | 第31-32页 |
| 1.4 课题来源和本文的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第32页 |
| 1.4.2 本文的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 多功能开尔文探针测量实验平台设计 | 第34-51页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 开尔文探针测量方法的工作原理 | 第34-39页 |
| 2.2.1 基于静电力反馈的KPFM | 第35-36页 |
| 2.2.2 基于静电力梯度反馈的KPFM | 第36-39页 |
| 2.3 开尔文探针力显微镜测量系统设计 | 第39-42页 |
| 2.3.1 原子力显微镜系统 | 第39-40页 |
| 2.3.2 多功能开尔文探针测量模块 | 第40-42页 |
| 2.4 微操作装配系统设计 | 第42-50页 |
| 2.4.1 双探针微操作系统 | 第42-44页 |
| 2.4.2 面向探针刚度标定的微操作 | 第44-47页 |
| 2.4.3 面向探针装配的粘接剂定量沉积 | 第47-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 共振激励开环控制的表面电势测量研究 | 第51-62页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 双频激励调制开环开尔文探针测量方法工作原理 | 第51-54页 |
| 3.3 双频激励调制开环开尔文探针测量方法性能测试 | 第54-56页 |
| 3.3.1 矫正因子标定 | 第54-55页 |
| 3.3.2 测量稳定性和能量分辨率 | 第55-56页 |
| 3.4 双频激励调制开环开尔文探针测量方法实验研究 | 第56-61页 |
| 3.4.1 实验样品制备 | 第56-58页 |
| 3.4.2 石墨烯原位表征对比实验 | 第58-59页 |
| 3.4.3 聚合物光栅表征 | 第59-61页 |
| 3.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 弱均化效应T状悬臂梁探针研究 | 第62-82页 |
| 4.1 引言 | 第62页 |
| 4.2 悬臂均化效应的数值模拟 | 第62-68页 |
| 4.2.1 基于矩形梁探针法向信号的KPFM | 第62-65页 |
| 4.2.2 基于T状悬臂梁探针扭转信号的KPFM | 第65-67页 |
| 4.2.3 针尖长度与悬臂均化效应的关系 | 第67-68页 |
| 4.3 T状悬臂梁探针的设计与制备 | 第68-75页 |
| 4.3.1 T状悬臂梁探针的设计 | 第69-72页 |
| 4.3.2 T状悬臂梁探针的制备 | 第72-74页 |
| 4.3.3 T状悬臂梁探针的标定 | 第74-75页 |
| 4.4 基于T状悬臂梁的表面电势表征 | 第75-81页 |
| 4.4.1 能量分辨率 | 第75-76页 |
| 4.4.2 烟草花叶病毒的扫描成像 | 第76-81页 |
| 4.5 本章小结 | 第81-82页 |
| 第5章 基于力-位移曲线的多参数同步测量研究 | 第82-103页 |
| 5.1 引言 | 第82页 |
| 5.2 基于力-位移曲线的多参数开尔文探针测量方法 | 第82-93页 |
| 5.2.1 多参数开尔文探针测量方法工作原理 | 第82-85页 |
| 5.2.2 实验参数对测量结果的影响 | 第85-88页 |
| 5.2.3 测量稳定性和能量分辨率 | 第88-89页 |
| 5.2.4 石墨烯原位表征对比实验 | 第89-92页 |
| 5.2.5 聚合物光栅的多参数同步测量 | 第92-93页 |
| 5.3 基于高带宽复合探针的多参数开尔文探针测量方法 | 第93-102页 |
| 5.3.1 多参数开尔文探针测量方法的时间分辨率 | 第93-95页 |
| 5.3.2 复合探针的制备与性能测试 | 第95-100页 |
| 5.3.3 聚合物光栅的高速率多参数同步测量 | 第100-102页 |
| 5.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 第6章 三维结构表面电势测量研究 | 第103-121页 |
| 6.1 引言 | 第103页 |
| 6.2 深沟槽底面表面电势测量方法研究 | 第103-113页 |
| 6.2.1 原子力显微镜探针的长径比 | 第103-105页 |
| 6.2.2 基于光纤探针的表面电势测量的数值模拟 | 第105-106页 |
| 6.2.3 基于光纤探针的多参数开尔文探针测量方法性能测试 | 第106-111页 |
| 6.2.4 深沟槽底面的多参数同步测量 | 第111-113页 |
| 6.3 回转体360°表面电势测量方法研究 | 第113-119页 |
| 6.3.1 回转体360°表面电势表征系统 | 第113-114页 |
| 6.3.2 微米级回转体样品制备 | 第114-116页 |
| 6.3.3 360°氧化锌表面形貌表征 | 第116-117页 |
| 6.3.4 360°氧化锌表面电势表征 | 第117-119页 |
| 6.4 本章小结 | 第119-121页 |
| 结论 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-134页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第134-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 个人简历 | 第138页 |
