| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 硅基片上光互联的发展 | 第12-14页 |
| 1.2 硅基芯片中光学滤波器的研究进展 | 第14-20页 |
| 1.3 本文的创新点和主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 微环谐振腔基础理论 | 第22-36页 |
| 2.1 硅基光波导理论基础 | 第22-27页 |
| 2.1.1 硅基光波导结构 | 第22-23页 |
| 2.1.2 硅基光波导分析方法 | 第23-27页 |
| 2.2 微环谐振腔理论基础 | 第27-33页 |
| 2.2.1 波导耦合理论 | 第27-29页 |
| 2.2.2 单个微环谐振器理论分析 | 第29-33页 |
| 2.3 微环谐振器的几个重要参数 | 第33-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 级联微环平顶型滤波器理论分析与仿真 | 第36-48页 |
| 3.1 级联微环平顶型滤波器结构及特性 | 第36页 |
| 3.2 级联微环平顶型滤波器的分析方法与仿真 | 第36-44页 |
| 3.2.1 级联微环平顶型滤波器的设计步骤 | 第37页 |
| 3.2.2 串联微环平顶型滤波器的传输曲线 | 第37-40页 |
| 3.2.3 串联微环平顶型滤波器的滤波性质 | 第40-43页 |
| 3.2.4 耦合区参数的确定 | 第43-44页 |
| 3.3 耦合系数对称性和波导传输损耗对滤波性能的影响 | 第44-47页 |
| 3.3.1 耦合系数的对称性对输出光谱的影响 | 第44-46页 |
| 3.3.2 传输损耗对输出光谱的影响 | 第46-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 串联微环平顶型滤波器设计与仿真 | 第48-56页 |
| 4.1 耦合区结构设计 | 第48-51页 |
| 4.1.1 耦合区的几种常见结构 | 第48-49页 |
| 4.1.2 耦合区的设计优化 | 第49-51页 |
| 4.2 串联3阶跑道型谐振腔滤波器滤波性能仿真 | 第51-54页 |
| 4.2.1 传输矩阵法仿真结果 | 第52-53页 |
| 4.2.2 FDTD法仿真结果 | 第53-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 串联三阶微环平顶型滤波器制作与测试 | 第56-64页 |
| 5.1 串联三阶微环平顶型滤波器的设计版图与加工 | 第56-59页 |
| 5.2 测试平台 | 第59-61页 |
| 5.3 测试结果及分析 | 第61-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 论文总结 | 第64-65页 |
| 6.2 论文展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 硕士期间发表文章 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |