| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 进一步的研究工作 | 第13-31页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 基于SEM微纳操作系统的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3 粘滑式纳米定位装置的研究现状 | 第19-24页 |
| 1.4 粘滑驱动摩擦力的建模研究现状 | 第24-29页 |
| 1.5 课题来源和本文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第29页 |
| 1.5.2 本文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 粘滑驱动定位台的设计 | 第31-44页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 技术要求与系统设计 | 第31-32页 |
| 2.3 粘滑驱动定位台的结构设计 | 第32-37页 |
| 2.3.1 水平粘滑驱动定位台的结构设计 | 第32-34页 |
| 2.3.2 垂直粘滑驱动定位台的结构设计 | 第34-36页 |
| 2.3.3 旋转粘滑驱动定位台的结构设计 | 第36-37页 |
| 2.4 粘滑驱动定位台的机械强度校核与模态分析 | 第37-43页 |
| 2.4.1 水平粘滑驱动定位台的机械强度校核与模态分析 | 第37-40页 |
| 2.4.2 垂直粘滑驱动定位台的机械强度校核与模态分析 | 第40-41页 |
| 2.4.3 旋转粘滑驱动定位台的机械强度校核与模态分析 | 第41-43页 |
| 2.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 粘滑驱动定位台的动力学研究 | 第44-65页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 粘滑驱动定位台动力学建模 | 第44-49页 |
| 3.2.1 压电致动器的动力学建模 | 第44-46页 |
| 3.2.2 水平粘滑驱动定位台动力学建模 | 第46-47页 |
| 3.2.3 垂直粘滑驱动定位台动力学建模 | 第47-48页 |
| 3.2.4 旋转粘滑驱动定位台动力学建模 | 第48-49页 |
| 3.3 一种基于饱和函数的多状态变量摩擦模型 | 第49-54页 |
| 3.3.1 基于饱和函数的多状态变量摩擦模型的数学表达 | 第49-51页 |
| 3.3.2 基于饱和函数的多状态变量摩擦模型的摩擦特性 | 第51-54页 |
| 3.4 粘滑驱动定位台动力学仿真与分析 | 第54-63页 |
| 3.4.1 动力学模型参数的确定 | 第55-56页 |
| 3.4.2 精密定位动力学仿真与分析 | 第56-59页 |
| 3.4.3 步进定位动力学仿真与分析 | 第59-63页 |
| 3.5 粘滑驱动定位台结构参数优选与研制 | 第63-64页 |
| 3.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 粘滑驱动定位台驱动控制系统的设计 | 第65-79页 |
| 4.1 引言 | 第65页 |
| 4.2 驱动控制系统总体设计 | 第65-66页 |
| 4.3 驱动器设计 | 第66-73页 |
| 4.3.1 驱动电路设计及器件选择 | 第66-67页 |
| 4.3.2 驱动器稳定性分析与补偿 | 第67-71页 |
| 4.3.3 驱动器的热计算 | 第71-73页 |
| 4.4 控制器设计 | 第73-77页 |
| 4.4.1 控制器硬件设计 | 第74-76页 |
| 4.4.2 控制器软件设计 | 第76-77页 |
| 4.5 人机交互程序设计 | 第77-78页 |
| 4.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 粘滑驱动定位台性能测试及微纳操作实验研究 | 第79-104页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 驱动控制系统性能测试 | 第79-83页 |
| 5.2.1 静态输出特性测试 | 第80-82页 |
| 5.2.2 动态输出特性测试 | 第82-83页 |
| 5.3 粘滑驱动定位台性能测试实验 | 第83-94页 |
| 5.3.1 水平粘滑驱动定位台性能测试 | 第83-87页 |
| 5.3.2 垂直粘滑驱动定位台性能测试 | 第87-90页 |
| 5.3.3 旋转粘滑驱动定位台性能测试 | 第90-94页 |
| 5.4 基于SEM微纳操作系统的建立 | 第94-95页 |
| 5.5 单根纳米线操作应用 | 第95-102页 |
| 5.5.1 末端操作工具的制备 | 第95-97页 |
| 5.5.2 单根纳米线的制备 | 第97-98页 |
| 5.5.3 单根纳米线二维操作应用 | 第98-100页 |
| 5.5.4 单根纳米线三维操作应用 | 第100-102页 |
| 5.6 本章小结 | 第102-104页 |
| 结论 | 第104-106页 |
| 参考文献 | 第106-115页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117-118页 |
| 个人简历 | 第118页 |
