| 中文摘要 | 第3-5页 |
| 英文摘要 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 太赫兹波简介 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹检测器国内外发展现状 | 第11-21页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 NB_5N_6 MICROBOLOMETER的原理及制备 | 第23-33页 |
| 2.1 Nb_5N_6薄膜在太赫兹波段性能 | 第23-26页 |
| 2.2 Nb_5N_6 microbolometer的原理 | 第26-29页 |
| 2.3 Nb_5N_6 microbolometer的制备 | 第29-33页 |
| 第三章 平面天线耦合的NB_5N_6 MICROBOLOMETER器件研究 | 第33-51页 |
| 3.1 太赫兹平面天线的设计 | 第33-34页 |
| 3.2 平面天线耦合的Nb_5N_6 microbolometer太赫兹检测器 | 第34-43页 |
| 3.3 衬底干涉效应的研究 | 第43-51页 |
| 第四章 集成衍射微透镜的NB_5N_6 MICROBOLOMETER阵列芯片研究 | 第51-60页 |
| 4.1 衍射微透镜的设计 | 第51-55页 |
| 4.2 集成衍射微透镜的Nb_5N_6 microbolometer阵列芯片制备 | 第55-57页 |
| 4.3 集成衍射微透镜的Nb_5N_6 microbolometer阵列芯片性能表征 | 第57-60页 |
| 第五章 NB_5N_6 MICROBOLOMETER准光接收机 | 第60-75页 |
| 5.1 展半球硅透镜 | 第60-66页 |
| 5.2 串联结构器件设计与制备 | 第66-67页 |
| 5.3 串联结构的Nb_5N_6 microbolometer准光接收机 | 第67-75页 |
| 第六章 NB_5N_6 MICROBOLOMETER太赫兹检测器的成像实验 | 第75-79页 |
| 6.1 Nb_5N_6 microbolometer对信号源频率的测量 | 第75-76页 |
| 6.2 Nb_5N_6 microbolometer太赫兹检测器成像 | 第76-79页 |
| 第七章 总结和展望 | 第79-81页 |
| 7.1 总结 | 第79-80页 |
| 7.2 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-97页 |
| 博士期间发表的学术论文 | 第97-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
