| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 光学传感器的概述 | 第9-14页 |
| 1.1.1 光学传感器的基本原理 | 第10-12页 |
| 1.1.2 光学传感器使用的材料 | 第12-13页 |
| 1.1.3 光学传感器的结构 | 第13-14页 |
| 1.2 光学传感器的国内外研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3 本文的主要贡献与创新 | 第19-20页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第20-22页 |
| 第二章 光学传感器的理论基础 | 第22-32页 |
| 2.1 传输矩阵法在光学传感模型中的应用 | 第22-27页 |
| 2.1.1 传输矩阵法在微环腔模型中的应用 | 第22-25页 |
| 2.1.2 传输矩阵法在光栅FP腔模型中的应用 | 第25-27页 |
| 2.2 时域有限差分法在光学传感模型上的应用 | 第27-31页 |
| 2.2.1 时域有限差分迭代公式 | 第27-29页 |
| 2.2.2 吸收边界条件和初始条件及入射激励源 | 第29-30页 |
| 2.2.3 时域有限差分方法的计算步骤 | 第30-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 基于SOI的微环腔光学传感器的研究 | 第32-56页 |
| 3.1 基于SOI的狭缝波导微环腔光学传感器的原理 | 第32-34页 |
| 3.1.1 基于SOI的微环腔光学传感器的原理 | 第32-33页 |
| 3.1.2 基于SOI的狭缝波导的原理 | 第33-34页 |
| 3.2 基于SOI的微环腔光学传感器的技术指标参数 | 第34-37页 |
| 3.3 基于SOI的普通微环腔光学传感器的研究 | 第37-40页 |
| 3.4 硅基狭缝波导的设计及数值分析 | 第40-41页 |
| 3.5 基于SOI的单狭缝波导微环腔光学传感器的研究 | 第41-48页 |
| 3.5.1 传感器关键结构参数的优化分析 | 第41-46页 |
| 3.5.2 传感器性能的分析 | 第46-48页 |
| 3.6 基于SOI的双狭缝波导微环腔光学传感器的研究 | 第48-55页 |
| 3.6.1 传感器关键结构参数的优化分析 | 第48-53页 |
| 3.6.2 传感器性能的分析 | 第53-55页 |
| 3.7 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 基于SOI的光栅FP腔光学传感器的研究 | 第56-77页 |
| 4.1 基于SOI的狭缝波导光栅FP腔光学传感器的原理 | 第56-58页 |
| 4.2 基于SOI的狭缝波导光栅FP腔光学传感器的技术指标参数 | 第58-59页 |
| 4.3 基于SOI的单狭缝波导光栅FP腔光学传感器的研究 | 第59-64页 |
| 4.3.1 传感器关键结构参数的优化分析 | 第59-62页 |
| 4.3.2 传感器性能的分析 | 第62-64页 |
| 4.4 基于SOI的三狭缝波导光栅FP腔光学传感器的研究 | 第64-68页 |
| 4.4.1 传感器关键结构参数的优化分析 | 第65-66页 |
| 4.4.2 传感器性能的分析 | 第66-68页 |
| 4.5 基于SOI的增强型光栅FP腔光学传感器的研究 | 第68-71页 |
| 4.5.1 传感器关键结构参数的优化分析 | 第68-69页 |
| 4.5.2 传感器性能的分析 | 第69-71页 |
| 4.6 基于SOI的大动态探测范围及高灵敏度传感阵列芯片的设计 | 第71-75页 |
| 4.7 本章小结 | 第75-77页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第77-80页 |
| 5.1 全文总结 | 第77-78页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第86-87页 |
