微小零件平面度精密测量关键技术研究
| 摘要 | 第2-3页 |
| abstract | 第3-4页 |
| 主要符号表 | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究的目的与意义 | 第8页 |
| 1.2 平面度测量技术国内外发展现状 | 第8-14页 |
| 1.2.1 精密零件的平面度测量方法 | 第8-9页 |
| 1.2.2 微小精密零件的平面度测量方法 | 第9-14页 |
| 1.3 课题研究工作的主要内容和重点 | 第14-15页 |
| 1.3.1 研究工作的主要内容 | 第14页 |
| 1.3.2 课题重点 | 第14-15页 |
| 1.4 技术路线、主要技术指标 | 第15-16页 |
| 2 微小零件平面度测量装置整体系统方案 | 第16-24页 |
| 2.1 装置整体系统方案 | 第16-19页 |
| 2.2 基于柔性铰链的精密二维共平面运动平台方案 | 第19-21页 |
| 2.3 测头结构方案 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 精密二维运动平台的柔性铰链导向机构结构设计 | 第24-46页 |
| 3.1 导轨类型 | 第24-25页 |
| 3.2 基于柔性铰链的柔性导向机构 | 第25-27页 |
| 3.2.1 柔性铰链原理 | 第25页 |
| 3.2.2 柔性导向机构 | 第25-27页 |
| 3.3 导向机构刚度分析 | 第27-28页 |
| 3.4 导向机构精密导向性的有限元验证及仿真 | 第28-43页 |
| 3.4.1 柔性导向机构的静态分析 | 第28-31页 |
| 3.4.2 几何尺寸不对称性对导向精度的影响 | 第31-37页 |
| 3.4.3 载荷不对称性对导向精度的影响 | 第37-43页 |
| 3.5 测量装置导向结构设计 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 实验结果与分析 | 第46-58页 |
| 4.1 平面度误差评定方法 | 第46-49页 |
| 4.2 导向精度测试 | 第49-52页 |
| 4.2.1 x轴向导向精度测试 | 第50-51页 |
| 4.2.2 y轴向导向精度测试 | 第51-52页 |
| 4.3 平面度测量装置标定 | 第52-57页 |
| 4.3.1 实验方案 | 第52-54页 |
| 4.3.2 实验数据处理 | 第54-56页 |
| 4.3.3 不确定度分析 | 第56-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 结论 | 第58-60页 |
| 5.1 结论 | 第58页 |
| 5.2 展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-69页 |
