| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 文献综述 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 太阳能级多晶硅在太阳能光伏行业中的重要性 | 第11页 |
| 1.3 多晶硅国内外发展状况 | 第11-13页 |
| 1.3.1 国外多晶硅工业发展状况 | 第11-12页 |
| 1.3.2 我多晶硅工业发展状况 | 第12-13页 |
| 1.4 多晶硅主要生产工艺 | 第13-16页 |
| 1.4.1 冶金法 | 第13页 |
| 1.4.2 新硅烷法 | 第13-14页 |
| 1.4.3 改良西门子法（MSP法） | 第14-16页 |
| 1.5 检测方法概述 | 第16-21页 |
| 1.5.1 分光光度法 | 第17-18页 |
| 1.5.2 原子吸收光谱法 | 第18-19页 |
| 1.5.3 电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP-AES) | 第19页 |
| 1.5.4 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) | 第19-21页 |
| 1.6 本论文主要研究的内容 | 第21-22页 |
| 第2章 实验准备及样品处理 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22-23页 |
| 2.2 实验准备 | 第23-24页 |
| 2.2.1 设备 | 第23页 |
| 2.2.2 试剂 | 第23-24页 |
| 2.3 实验过程 | 第24-25页 |
| 2.3.1 选样及样品前处理 | 第24页 |
| 2.3.2 样品熔融消解 | 第24-25页 |
| 2.4 结果讨论 | 第25-28页 |
| 2.4.1 消解液的选择 | 第25页 |
| 2.4.2 消解方法选择 | 第25-28页 |
| 2.5 小结 | 第28-30页 |
| 第3章 硼元素分析 | 第30-40页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 实验准备 | 第30-31页 |
| 3.2.1 设备 | 第30-31页 |
| 3.2.2 试剂 | 第31页 |
| 3.3 实验过程 | 第31-34页 |
| 3.3.1 器皿清洗 | 第31-32页 |
| 3.3.2 样品制备 | 第32页 |
| 3.3.3 分析测试 | 第32-34页 |
| 3.3.4 样品测试 | 第34页 |
| 3.4 结果讨论 | 第34-38页 |
| 3.4.1 样品处理及分析过程硼元素沾污控制 | 第34-35页 |
| 3.4.2 保证低本底的实验设备 | 第35页 |
| 3.4.3 ICP-MS工作条件的确定 | 第35-36页 |
| 3.4.4 检测限的测定 | 第36-37页 |
| 3.4.5 方法的精密度 | 第37页 |
| 3.4.6 样品回收率的测定 | 第37-38页 |
| 3.5 小结 | 第38-40页 |
| 第4章 磷元素分析 | 第40-48页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 设备 | 第40页 |
| 4.3 试剂 | 第40-41页 |
| 4.4 实验过程 | 第41-44页 |
| 4.4.1 样品处理 | 第41-42页 |
| 4.4.2 器皿清洗 | 第42页 |
| 4.4.3 样品制备 | 第42页 |
| 4.4.4 分析测试 | 第42-44页 |
| 4.5 结果讨论 | 第44-46页 |
| 4.5.1 保证高纯的实验试剂及环境 | 第44-45页 |
| 4.5.2 保证低本底的实验设备 | 第45页 |
| 4.5.3 检测限的测定 | 第45-46页 |
| 4.5.4 方法的精密度 | 第46页 |
| 4.5.5 样品回收率的测定 | 第46页 |
| 4.6 小结 | 第46-48页 |
| 第5章 重要过渡金属杂质铬、铁、镍、铜、锌等元素分析 | 第48-60页 |
| 5.1 引言 | 第48-49页 |
| 5.2 实验准备 | 第49-50页 |
| 5.2.1 设备 | 第49页 |
| 5.2.2 试剂 | 第49页 |
| 5.2.3 标准溶液的配置 | 第49页 |
| 5.2.4 样品处理 | 第49-50页 |
| 5.3 过渡金属元素测定时的干扰分析 | 第50-53页 |
| 5.3.1 同位素干扰 | 第50-52页 |
| 5.3.2 多原子离子的干扰 | 第52页 |
| 5.3.3 等离子体质谱的稳定性 | 第52-53页 |
| 5.4 分析测试 | 第53-55页 |
| 5.4.1 绘制标准曲线 | 第53-55页 |
| 5.4.2 样品测试 | 第55页 |
| 5.5 结果讨论 | 第55-58页 |
| 5.5.1 检测限的测定 | 第55-56页 |
| 5.5.2 方法的精密度 | 第56-57页 |
| 5.5.3 样品回收率的测定 | 第57-58页 |
| 5.6 小结 | 第58-60页 |
| 第6章 分析检测过程质量控制 | 第60-64页 |
| 6.1 引言 | 第60页 |
| 6.2 所用试剂和标准的选择 | 第60-61页 |
| 6.3 器皿的选择 | 第61页 |
| 6.4 实验室洁净度控制 | 第61-62页 |
| 6.5 分析人员工作能力 | 第62页 |
| 6.6 实验方法的验证 | 第62-63页 |
| 6.7 小结 | 第63-64页 |
| 第7章 结论与展望 | 第64-66页 |
| 7.1 结论 | 第64-65页 |
| 7.2 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
