| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10页 |
| 第一章 绪论 | 第11-36页 |
| 1.1 石墨烯简介 | 第12-25页 |
| 1.2 石墨烯气体传感研究简介进展 | 第25-34页 |
| 1.2.1 石墨烯传感器简介 | 第25-31页 |
| 1.2.2 石墨烯气体传感器研究进展 | 第31-34页 |
| 1.3 论文选题与研究内容 | 第34-36页 |
| 第二章 石墨烯的化学气相沉积法制备 | 第36-49页 |
| 2.1 实验装置和制备方法 | 第37-40页 |
| 2.1.1 石墨烯的生长 | 第37-39页 |
| 2.1.2 石墨烯的转移 | 第39页 |
| 2.1.3 石墨烯的表征 | 第39-40页 |
| 2.2 结果与分析 | 第40-48页 |
| 2.2.1 CVD石墨烯生长形貌探究 | 第40-42页 |
| 2.2.2 压强、温度、氢气分压等与石墨烯生长的关系 | 第42-45页 |
| 2.2.4 氧化铜箔生长石墨烯探究 | 第45-48页 |
| 2.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 石墨烯场效应管气敏特性研究 | 第49-64页 |
| 3.1 石墨烯场效应管的制备 | 第49-52页 |
| 3.1.1 机械剥离制备石墨烯 | 第50页 |
| 3.1.2 金属电极的制备 | 第50-51页 |
| 3.1.3 气体测试系统 | 第51-52页 |
| 3.2 石墨烯场效应管氨气气敏特性研究 | 第52-54页 |
| 3.2.1 场效应管输出特性研究 | 第52-53页 |
| 3.2.2 石墨烯传感器氨气气敏特性 | 第53-54页 |
| 3.3 吸附过程的建模与仿真 | 第54-63页 |
| 3.3.1 密度泛函理论 | 第55-58页 |
| 3.3.3 计算模型与方法 | 第58-59页 |
| 3.3.4 计算结果与讨论 | 第59-63页 |
| 3.4 本章小节 | 第63-64页 |
| 第四章 石墨烯声表面波器件甲烷气敏特性研究 | 第64-74页 |
| 4.1 声表面波传感器简介 | 第64-68页 |
| 4.1.1 SAW传感器原理 | 第65-67页 |
| 4.1.2 SAW传感器类型选择 | 第67-68页 |
| 4.2 石墨烯声表面波传感器 | 第68-73页 |
| 4.2.1 表面波气敏传感器制备 | 第68-70页 |
| 4.2.2 GO声表面波传感器甲烷气敏特性研究 | 第70-73页 |
| 4.3 本章小节 | 第73-74页 |
| 结束语 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-92页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第92页 |