二元共掺BST薄膜介电性能及掺杂机理研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·BST 晶体结构与微观机理 | 第10-13页 |
| ·BST 的晶体结构 | 第10-11页 |
| ·BST 的介电性能 | 第11-12页 |
| ·BST 微观机理 | 第12-13页 |
| ·BST 研究热点 | 第13-15页 |
| ·BST 梯度改性研究 | 第15-16页 |
| ·(Ba/Sr)梯度 | 第15-16页 |
| ·掺杂梯度 | 第16页 |
| ·BST 掺杂改性研究 | 第16-18页 |
| ·一元掺杂的研究 | 第16-17页 |
| ·二元共掺的研究 | 第17-18页 |
| ·论文主要内容 | 第18-19页 |
| ·掺杂元素的选取 | 第18页 |
| ·主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 实验 | 第19-25页 |
| ·实验原料 | 第19-20页 |
| ·制备工艺 | 第20-22页 |
| ·Sol-gel 法的基本原理 | 第20页 |
| ·Sol-gel 法制备 BST 薄膜 | 第20-21页 |
| ·Sol-gel 法制备 BST 薄膜机理探讨 | 第21-22页 |
| ·测试 | 第22-23页 |
| ·XRD 测试 | 第22页 |
| ·XPS 测试 | 第22页 |
| ·AFM 测试 | 第22-23页 |
| ·C-V 测试 | 第23页 |
| ·实验方案 | 第23-25页 |
| 第三章 掺杂 BST 相结构分析 | 第25-34页 |
| ·一元掺杂 | 第25-31页 |
| ·铈掺杂 | 第25-27页 |
| ·钇掺杂 | 第27-28页 |
| ·锰掺杂 | 第28-30页 |
| ·退火温度对比分析 | 第30-31页 |
| ·二元共掺 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 铈锰共掺 BST 性能研究 | 第34-40页 |
| ·介电性能测试结果 | 第34-36页 |
| ·介电性能分析 | 第36-39页 |
| ·AFM 分析 | 第36页 |
| ·XPS 分析 | 第36-38页 |
| ·可调性分析 | 第38页 |
| ·介电损耗分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 交替掺杂 BST 性能研究 | 第40-55页 |
| ·掺杂浓度研究 | 第40-48页 |
| ·锰钇交替 | 第40-42页 |
| ·钇锰交替 | 第42-46页 |
| ·频率对比 | 第46-48页 |
| ·薄膜层数研究 | 第48-54页 |
| ·可调性 | 第49-50页 |
| ·介电损耗 | 第50-52页 |
| ·频率对比 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 主要结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第62-63页 |
