| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·-FeSi2异质结的研究现状 | 第13-16页 |
| ·论文的主要研究内容及论文结构安排 | 第16-18页 |
| 第二章 a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的制备与特性研究 | 第18-40页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·-FeSi2薄膜 | 第18-26页 |
| ·-FeSi2薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·-FeSi2薄膜的特性 | 第19-26页 |
| ·a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结 | 第26-39页 |
| ·a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的制备 | 第26-28页 |
| ·a-Si/ -FeSi2/c-Si双异质结的特性 | 第28-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 基于III-V族元素掺杂 -FeSi2的双异质结的制备与特性研究 | 第40-73页 |
| ·引言 | 第40-41页 |
| ·基于Al掺杂 -FeSi2的双异质结 | 第41-56页 |
| ·Al掺杂 -FeSi2薄膜的制备 | 第41-42页 |
| ·Al掺杂 -FeSi2薄膜的特性 | 第42-53页 |
| ·基于Al掺杂 -FeSi2的双异质结的特性 | 第53-56页 |
| ·基于B掺杂和P掺杂 -FeSi2的双异质结 | 第56-71页 |
| ·B掺杂 -FeSi2薄膜和P掺杂 -FeSi2薄膜的制备 | 第56-57页 |
| ·B掺杂 -FeSi2薄膜和P掺杂 -FeSi2薄膜的特性 | 第57-69页 |
| ·基于B掺杂和P掺杂 -FeSi2的双异质结的特性 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 第四章 非晶FeSi2异质结的制备与特性研究 | 第73-91页 |
| ·引言 | 第73-74页 |
| ·a-FeSi2薄膜 | 第74-82页 |
| ·a-FeSi2薄膜的制备 | 第74-75页 |
| ·a-FeSi2薄膜的特性 | 第75-82页 |
| ·a-FeSi2/c-Si异质结 | 第82-85页 |
| ·a-FeSi2/c-Si异质结的制备 | 第82-83页 |
| ·a-FeSi2/c-Si异质结的特性 | 第83-85页 |
| ·a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结 | 第85-90页 |
| ·a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结的制备 | 第85-86页 |
| ·a-Si/a-FeSi2和ZnO:Al/a-FeSi2异质结的特性 | 第86-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 结论 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-104页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 附件 | 第106页 |
