半导体生产线动态维护策略研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 选题背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.1 工业界研究现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 学术界研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 研究内容 | 第19-20页 |
| 1.4 论文总体框架 | 第20-23页 |
| 第二章 系统调度和维护理论 | 第23-33页 |
| 2.1 可靠性分析 | 第23-28页 |
| 2.1.1 威布尔分布可靠性 | 第24-26页 |
| 2.1.2 正态分布可靠性 | 第26-27页 |
| 2.1.3 指数分布可靠性 | 第27-28页 |
| 2.2 维护方案分类 | 第28-29页 |
| 2.2.1 故障性维修 | 第28页 |
| 2.2.2 预防性维修 | 第28-29页 |
| 2.2.3 机会维修 | 第29页 |
| 2.3 生产调度理论 | 第29-32页 |
| 2.3.1 生产调度的基本概念 | 第29-30页 |
| 2.3.2 生产调度种类 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 半导体制造设备动态维护策略建模 | 第33-45页 |
| 3.1 MDP模型在维护中的应用现状 | 第33-35页 |
| 3.2 MDP模型介绍 | 第35-36页 |
| 3.2.1 离散空间的MDP模型 | 第36页 |
| 3.2.2 连续时间的MDP模型 | 第36页 |
| 3.3 建立动态维护策略数学模型 | 第36-44页 |
| 3.3.1 行为空间和状态空间 | 第39-40页 |
| 3.3.2 动态转移概率 | 第40-41页 |
| 3.3.3 动态维护策略数学模型 | 第41-43页 |
| 3.3.4 算例假设 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 动态维护策略的求解与分析 | 第45-54页 |
| 4.1 粒子群算法 | 第45-48页 |
| 4.1.1 标准粒子群算法 | 第46-47页 |
| 4.1.2 离散粒子群算法 | 第47页 |
| 4.1.3 粒子群算法的应用 | 第47-48页 |
| 4.2 带交叉因子的粒子群算法 | 第48-49页 |
| 4.3 维护策略求解与分析 | 第49-53页 |
| 4.3.1 求解过程 | 第49-50页 |
| 4.3.2 数据分析 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 半导体生产线的调度与维护研究 | 第54-77页 |
| 5.1 Mini-Fab模型的建立 | 第54-59页 |
| 5.1.1 Mini-Fab模型结构及参数 | 第54-57页 |
| 5.1.2 Mini-Fab模型基本调度原则 | 第57页 |
| 5.1.3 Mini-Fab模型搭建 | 第57-59页 |
| 5.2 Mini-Fab模型调度规则研究 | 第59-66页 |
| 5.2.1 扩散中心调度规则 | 第61-62页 |
| 5.2.2 光刻单元调度规则 | 第62页 |
| 5.2.3 粒子注入单元调度规则 | 第62-63页 |
| 5.2.4 系统组合调度规则 | 第63-66页 |
| 5.3 维护与生产加工联合决策 | 第66-69页 |
| 5.3.1 问题的提出 | 第66-67页 |
| 5.3.2 维护与加工联合抉择模型的建立 | 第67-69页 |
| 5.4 仿真研究与数据分析 | 第69-76页 |
| 5.4.1 模型仿真 | 第69-71页 |
| 5.4.2 数据研究与可行性分析 | 第71-76页 |
| 5.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 总结与展望 | 第77-79页 |
| 1、总结 | 第77页 |
| 2、展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-85页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
