锑化镓/镓铟砷锑热光伏电池的研究与制备
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1. 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 热光伏电池的介绍 | 第10-12页 |
| 1.1.1. 热光伏电池的研究背景 | 第10页 |
| 1.1.2. 热光伏电池的研究现状 | 第10-11页 |
| 1.1.3. 热光伏电池的优势 | 第11页 |
| 1.1.4. 热光伏电池的原理 | 第11-12页 |
| 1.1.5. 热光伏电池的构造 | 第12页 |
| 1.2 锑化镓与镓铟砷锑材料的介绍 | 第12-14页 |
| 1.2.1. 锑化镓材料的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2.锑化镓材料的性质 | 第13-14页 |
| 1.2.3. 镓铟砷锑材料的研究现状 | 第14页 |
| 1.2.4. 镓铟砷锑的性质 | 第14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 本文的闪光点 | 第15-16页 |
| 2. 欧姆接触基本理论 | 第16-28页 |
| 2.1 本章主要内容 | 第16页 |
| 2.2 金属-半导体结的介绍 | 第16-19页 |
| 2.2.1. 欧姆接触与整流接触 | 第16页 |
| 2.2.2. 阻挡层与反阻挡层的形成机理 | 第16-17页 |
| 2.2.3. 肖特基势垒的形成与计算 | 第17-18页 |
| 2.2.4. 外加偏压对势垒高度的影响 | 第18页 |
| 2.2.5. 费米能级钉扎效应 | 第18-19页 |
| 2.3 实现欧姆接触的方法 | 第19-23页 |
| 2.3.1. 欧姆接触机制 | 第19-20页 |
| 2.3.2. 重掺杂 | 第20-21页 |
| 2.3.3. 硫钝化 | 第21页 |
| 2.3.4. 电极材料组合 | 第21-22页 |
| 2.3.5. 快速热退火 | 第22-23页 |
| 2.4 欧姆接触的测试方法 | 第23-26页 |
| 2.4.1. 比接触电阻的概念 | 第23页 |
| 2.4.2. 比接触电阻的测试模型 | 第23-26页 |
| 2.5 本章总结 | 第26-28页 |
| 3. 欧姆接触的工艺与测试 | 第28-46页 |
| 3.1 本章主要内容 | 第28页 |
| 3.2 欧姆接触的工艺 | 第28-39页 |
| 3.2.1. 划片 | 第28-29页 |
| 3.2.2. 清洗 | 第29-30页 |
| 3.2.3. 硫钝化 | 第30页 |
| 3.2.4. 光刻 | 第30-34页 |
| 3.2.5. N区朝上的片子镀碲 | 第34-36页 |
| 3.2.6. 六张光刻后的片子镀金 | 第36-37页 |
| 3.2.7. 剥离 | 第37页 |
| 3.2.8. 快速热退火 | 第37-39页 |
| 3.3 比接触电阻测试 | 第39-44页 |
| 3.3.1. 测试方法 | 第39-40页 |
| 3.3.2. 比接触电阻测试过程 | 第40-41页 |
| 3.3.3. 测试结果 | 第41-44页 |
| 3.4 本章总结 | 第44-46页 |
| 4. 热光伏电池的制作与测试 | 第46-60页 |
| 4.1 本章主要内容 | 第46页 |
| 4.2 锑化镓基片电学参数测试 | 第46-50页 |
| 4.2.1. 测量基片的电阻率 | 第46-47页 |
| 4.2.2. 测量基片的方块电阻 | 第47-48页 |
| 4.2.3. 测量基片少子寿命 | 第48-50页 |
| 4.3 热光伏电池的基本原理 | 第50-54页 |
| 4.3.1. 半导体中的光吸收 | 第50-51页 |
| 4.3.2. 半导体对光子的收集效率 | 第51页 |
| 4.3.3. PN结的光生伏打效应 | 第51-52页 |
| 4.3.4. 光伏电池的I-V特性曲线 | 第52页 |
| 4.3.5. 光伏电池的效率 | 第52-53页 |
| 4.3.6. 如何提高光伏电池的效率 | 第53-54页 |
| 4.4 热光伏电池的制备工艺 | 第54-56页 |
| 4.5 热光伏电池的测试 | 第56-58页 |
| 4.6 本章总结 | 第58-60页 |
| 5. 结论 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
