| 中文摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 引言 | 第11-30页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·ZnO 的性能 | 第12-13页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第12页 |
| ·ZnO 的晶体结构特性 | 第12-13页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第13-21页 |
| ·表面平滑的ZnO 薄膜的制备方法 | 第13-17页 |
| ·绒面ZnO 薄膜的制备方法 | 第17-21页 |
| ·ZnO:Al 薄膜在太阳电池中的应用 | 第21-24页 |
| ·太阳电池的原理 | 第21-22页 |
| ·太阳电池的种类及效率 | 第22页 |
| ·ZnO:Al 薄膜在太阳电池中的应用 | 第22-24页 |
| ·本文的研究思路 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-30页 |
| 第二章 薄膜的制备及表征 | 第30-39页 |
| ·薄膜的制备 | 第30-32页 |
| ·实验装置及设备技术参数 | 第30-32页 |
| ·基片清洗 | 第32页 |
| ·沉积后薄膜表面织构化处理 | 第32页 |
| ·薄膜的表征 | 第32-38页 |
| ·X 射线衍射(XRD) | 第32-33页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第33-34页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第34-35页 |
| ·紫外-可见光分光光度计(UV-Vis) | 第35-36页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS) | 第36页 |
| ·膜厚测量 | 第36-37页 |
| ·霍尔效应测试(Hall effect) | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-39页 |
| 第三章 初沉积的ZnO:Al 薄膜的结构和光电性质 | 第39-53页 |
| ·AZO 薄膜的XRD 分析 | 第39-41页 |
| ·AZO 薄膜的SEM 表面形貌图 | 第41-43页 |
| ·AZO 薄膜的AFM 表面形貌图 | 第43-44页 |
| ·AZO 薄膜的SEM 截面形貌图 | 第44-45页 |
| ·AZO 薄膜的XPS 分析 | 第45-47页 |
| ·AZO 薄膜的电学性质 | 第47-48页 |
| ·AZO 薄膜的光学性质 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
| 第四章 绒面ZnO:Al 薄膜的结构和光电性质 | 第53-71页 |
| ·不同的腐蚀时间 | 第54-57页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的SEM 图 | 第54-55页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的光学性质 | 第55-56页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的绒度 | 第56-57页 |
| ·腐蚀时间相同，不同功率制备的薄膜的性质 | 第57-64页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的SEM 表面图 | 第58-60页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的AFM 图 | 第60-61页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的SEM 截面图 | 第61-62页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的电学性质 | 第62-63页 |
| ·绒面ZnO:Al 薄膜的光学性质 | 第63-64页 |
| ·退火对绒面ZnO:Al 薄膜电学性质的影响 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-71页 |
| 第五章 结论 | 第71-75页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |