周期型微纳结构表面反射率的测量方法研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| ·研究背景 | 第8-9页 |
| ·反射率测量方法研究现状 | 第9-16页 |
| ·反射率测量方法 | 第9-13页 |
| ·国内外相关仪器系统研究 | 第13-14页 |
| ·现有周期型微纳结构反射率测量系统 | 第14-16页 |
| ·研究意义及主要研究内容 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 2 周期型微纳结构的反射特性分析 | 第18-33页 |
| ·亚波长光栅的等效介质理论分析 | 第18-23页 |
| ·等效介质理论 | 第18-19页 |
| ·一维亚波长结构的等效分析 | 第19-21页 |
| ·作为等效介质的一维亚波长光栅的周期界定 | 第21-23页 |
| ·亚波长光栅表面反射率的理论分析 | 第23-32页 |
| ·刻蚀深度、填充因子对反射率的影响 | 第24-29页 |
| ·入射角度对一维亚波长减反射光栅性能的影响 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 微纳结构反射率测量系统的设计 | 第33-42页 |
| ·总体设计 | 第33-34页 |
| ·光学系统的组成结构 | 第34-35页 |
| ·关键器件的设计和选择 | 第35-41页 |
| ·光源的选择 | 第35-36页 |
| ·光栅光谱仪 | 第36-39页 |
| ·积分球 | 第39-41页 |
| ·样品台的设计 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 实验结果与分析 | 第42-53页 |
| ·亚波长减反射光栅理论的初步实验验证 | 第42-43页 |
| ·反射率测量实验系统的工作过程 | 第43-44页 |
| ·测试结果与分析 | 第44-51页 |
| ·标准白板的反射率曲线 | 第44-45页 |
| ·测量光源的偏振特性 | 第45-46页 |
| ·测试样品的反射率曲线 | 第46-48页 |
| ·多角度入射及方位角改变时的样品反射率曲线 | 第48-51页 |
| ·误差及精度分析 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 结论 | 第53-56页 |
| ·总结 | 第53-54页 |
| ·问题与展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
