压力微传感器性能测试与研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
1 绪论	第7-10页
·选题背景	第7页
·微传感器测试技术的研究现状与发展趋势	第7-9页
·国内外研究现状	第8页
·微传感器测试的关键技术	第8-9页
·课题意义与主要研究内容	第9-10页
2 压阻式压力微传感器的设计	第10-25页
·相关理论基础	第10-12页
·压阻效应	第10-12页
·小挠度理论基础	第12页
·压阻式微压力传感器的工作原理	第12-15页
·压阻式微压力传感器的结构设计	第15-20页
·硅杯结构设计和材料的选择	第15-16页
·弹性薄膜的厚度	第16-19页
·硅杯掩模窗口的边长确定	第19-20页
·压敏电阻的设计	第20-22页
·工艺流程的设计	第22-24页
·本章小结	第24-25页
3 压阻式压力微传感器测试装置硬件设计	第25-37页
·总体设计	第25-26页
·检测电路设计	第26-29页
·温度控制电路设计	第29-36页
·本章小结	第36-37页
4 系统软件设计	第37-44页
·软件平台	第37-39页
·子程序的设计	第39-43页
·本章小结	第43-44页
5 压阻式压力微传感器的测试与分析	第44-52页
·压力传感器的测试	第44-48页
·结果与分析	第48-51页
·本章小结	第51-52页
结论	第52-53页
展望	第53-54页
参考文献	第54-57页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文	第57-58页
致谢	第58页