| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·选题背景 | 第8-9页 |
| ·场效应管的意义与不足之处 | 第8页 |
| ·器件微型化与MEMS技术 | 第8页 |
| ·MEMS的困难与微流控技术 | 第8-9页 |
| ·研究现状综述 | 第9-11页 |
| ·微流控的研究现状 | 第9-10页 |
| ·电润湿的研究现状 | 第10-11页 |
| ·本文研究的内容 | 第11-12页 |
| ·本文研究的意义 | 第12-13页 |
| 第二章 电润湿与半导体场效应管 | 第13-26页 |
| ·界面理论 | 第13-16页 |
| ·润湿现象 | 第13-14页 |
| ·表面张力 | 第14-15页 |
| ·表面能 | 第15-16页 |
| ·EWOD理论基础 | 第16-19页 |
| ·Young方程 | 第16-17页 |
| ·气-水-固三态电润湿原理 | 第17-18页 |
| ·油-水-固三态电润湿原理 | 第18-19页 |
| ·电润湿应用原理 | 第19-21页 |
| ·电润湿变焦透镜 | 第19-20页 |
| ·电润湿显示单元 | 第20-21页 |
| ·微流控芯片 | 第21页 |
| ·场效应管简介 | 第21-22页 |
| ·半导体场效应管的结构与原理 | 第22-25页 |
| ·MOSFET的结构 | 第22-23页 |
| ·MOSFET工作原理 | 第23-24页 |
| ·特性曲线以及电流方程 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 基于介电润湿效应的液体场效应管制备 | 第26-36页 |
| ·液体场效应管的设计 | 第26页 |
| ·液体场效应管的结构与原理 | 第26-28页 |
| ·液体场效应管的结构 | 第26-27页 |
| ·液体场效应管的工作原理 | 第27-28页 |
| ·液体场效应管的制作 | 第28-35页 |
| ·底电极（栅极）的制作 | 第29-31页 |
| ·绝缘层的制作 | 第31-32页 |
| ·源漏极的制作 | 第32-33页 |
| ·疏水层的制作 | 第33-34页 |
| ·亲水网格的制作 | 第34-35页 |
| ·疏水网格的制作 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 基于介电润湿效应的液体场效应管的性能表征 | 第36-55页 |
| ·KCl溶液在空气中的介电润湿效应的实验 | 第36-41页 |
| ·实验装置 | 第36-37页 |
| ·器件制备与测试 | 第37-39页 |
| ·MATLAB 图像处理 | 第39-40页 |
| ·实验结果分析 | 第40-41页 |
| ·KCl 溶液在正十二烷中的介电润湿效应的实验 | 第41-44页 |
| ·实验装置 | 第41-42页 |
| ·器件制备 | 第42-43页 |
| ·测试结果与分析 | 第43-44页 |
| ·液体场效应管的测试与分析 | 第44-48页 |
| ·液体场效应管中的电润湿现象 | 第44-46页 |
| ·液体场效应管的电压- 电流特性 | 第46-48页 |
| ·COMSOL 仿真 KCl 溶液在正十二烷中的电润湿现象 | 第48-54页 |
| ·Comsol 软件简介 | 第48页 |
| ·模型建立 | 第48-51页 |
| ·液体流速与流向的仿真结果 | 第51-52页 |
| ·液体表面张力与方向的仿真结果 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 总结与展望 | 第55-56页 |
| ·本文主要成果 | 第55页 |
| ·展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第59-60页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |