| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·薄膜技术及薄膜应用 | 第13-15页 |
| ·薄膜材料制备方法 | 第13-14页 |
| ·薄膜材料的性质及典型应用 | 第14-15页 |
| ·氮化碳基薄膜的特点 | 第15-16页 |
| ·氮化碳薄膜的特点 | 第15页 |
| ·硼碳氮薄膜的特点 | 第15-16页 |
| ·硅碳氮薄膜的特点 | 第16页 |
| ·本文的研究背景及主要内容 | 第16-22页 |
| ·氮化碳基薄膜制备及摩擦学研究现状 | 第17-20页 |
| ·本文的研究意义 | 第20-21页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 试验方法 | 第22-30页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第22-24页 |
| ·样品的材料 | 第22页 |
| ·BCN 和SiCN 薄膜制备 | 第22-23页 |
| ·a-CN_x 薄膜制备 | 第23-24页 |
| ·氮化碳基薄膜表征 | 第24-26页 |
| ·傅立叶红外光谱(Fourier Transform Infrared Spectrum，FT-IR) | 第25页 |
| ·拉曼光谱(Raman Spectrum) | 第25页 |
| ·X 射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectrometer，XPS) | 第25-26页 |
| ·表面粗糙度、硬度及弹性模量的表征 | 第26页 |
| ·摩擦磨损试验 | 第26-29页 |
| ·摩擦磨损试验的环境条件及试验参数 | 第26-28页 |
| ·薄膜磨痕的提交测试及宏观微观形貌分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 工艺参数对BCN 薄膜机械性能及结构的影响 | 第30-43页 |
| ·BCN 薄膜结构表征 | 第30-34页 |
| ·BCN 薄膜的红外光谱 | 第30-32页 |
| ·BCN 薄膜的拉曼光谱 | 第32-34页 |
| ·BCN 薄膜力学性能表征 | 第34-38页 |
| ·制备工艺参数对BCN 薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第34-37页 |
| ·制备工艺参数对BCN 薄膜表面粗糙度的影响 | 第37-38页 |
| ·BCN 薄膜的XPS 分析 | 第38-39页 |
| ·结构与力学性能的关系 | 第39-40页 |
| ·BCN 薄膜水润滑性能测试 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 工艺参数对SICN 薄膜机械性能及结构的影响 | 第43-55页 |
| ·SICN 薄膜结构表征 | 第43-47页 |
| ·SiCN 薄膜的红外光谱 | 第43-44页 |
| ·SiCN 薄膜的拉曼光谱 | 第44-47页 |
| ·SICN 薄膜力学性能表征 | 第47-50页 |
| ·制备工艺参数对SiCN 薄膜硬度和弹性模量的影响 | 第47-49页 |
| ·制备工艺参数对SiCN 薄膜表面粗糙度的影响 | 第49-50页 |
| ·SICN 薄膜的XPS 分析 | 第50-51页 |
| ·结构与力学性能的关系 | 第51-52页 |
| ·SICN 薄膜水润滑性能测试 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 非晶氮化碳薄膜在水基溶液中的摩擦学特性研究 | 第55-71页 |
| ·非晶氮化碳薄膜的表征 | 第55-57页 |
| ·非晶氮化碳薄膜的结构及成分表征 | 第55-56页 |
| ·非晶氮化碳薄膜的机械性能表征 | 第56-57页 |
| ·润滑液浓度对A-CN_x薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第57-61页 |
| ·不同浓度冷却液润滑条件下a-CN_x 薄膜摩擦行为 | 第57-59页 |
| ·对比溶液润滑条件下a-CN_x 薄膜摩擦行为 | 第59-61页 |
| ·非晶氮化碳薄膜磨痕的三维形貌及截面形貌 | 第61-66页 |
| ·乙醇基冷却液润滑下a-CN_x 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第61-62页 |
| ·乙二醇基冷却液润滑下a-CN_x 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第62-65页 |
| ·对比溶液润滑下a-CN_x 薄膜的三维形貌及截面形貌 | 第65-66页 |
| ·SIC 球与A-CN_x薄膜的磨痕光学照片 | 第66-68页 |
| ·讨论 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-74页 |
| ·本文的主要工作及结论 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第80页 |
