| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·精密定位技术的发展现状 | 第8-15页 |
| ·精密位置测量技术的研究现状 | 第8-13页 |
| ·精密驱动技术的发展现状 | 第13-15页 |
| ·本课题的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 SM-PDP系统定位原理分析与系统总体设计 | 第17-26页 |
| ·双光栅衍射的数学模型 | 第17-22页 |
| ·莫尔条纹的衍射原理 | 第17-19页 |
| ·透射式光栅系统的理论分析 | 第19-22页 |
| ·SM-PDP系统的总体设计 | 第22-26页 |
| ·SM-PDP系统的屏板构造设计 | 第22-24页 |
| ·SM-PDP系统激光检测设计 | 第24页 |
| ·SM-PDP系统的定位方案的设计 | 第24页 |
| ·SM-PDP系统的总体功能框架设计 | 第24-26页 |
| 第3章 SM-PDP精密定位装配机总体架构的实现 | 第26-47页 |
| ·系统硬件实现 | 第26-42页 |
| ·定位台 | 第27-29页 |
| ·定位驱动机构 | 第29-31页 |
| ·图像检测系统 | 第31-33页 |
| ·磁吸机构 | 第33页 |
| ·手动控制系统 | 第33-36页 |
| ·光路系统 | 第36-37页 |
| ·光电检测电路 | 第37-41页 |
| ·数据采集卡 | 第41-42页 |
| ·软件系统架构 | 第42-47页 |
| ·输入采集模块 | 第42-44页 |
| ·定位控制模块 | 第44页 |
| ·设备驱动模块 | 第44-45页 |
| ·数据管理模块 | 第45-47页 |
| 第4章 SM-PDP系统精密定位技术的研究 | 第47-60页 |
| ·基于计算机视觉的屏板定位 | 第47-48页 |
| ·光栅定位 | 第48-56页 |
| ·直线定位方法 | 第48-51页 |
| ·角度定位方法 | 第51-52页 |
| ·平面定位方法 | 第52-56页 |
| ·复合式平面定位方法 | 第56-57页 |
| ·系统精度分析及抗干扰措施 | 第57-60页 |
| ·系统精度分析 | 第57-58页 |
| ·系统抗干扰措施 | 第58-60页 |
| 第5章 结束语 | 第60-63页 |
| ·本课题研究内容的回顾与总结 | 第60-61页 |
| ·本课题进一步研究的展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |