中文摘要 | 第1-4页 |
英文摘要 | 第4-7页 |
第一章 引言 | 第7-10页 |
第二章 蒙特卡罗方法简介 | 第10-13页 |
第三章 EACVD中氢分子的分解及其对金刚石生长的影响 | 第13-43页 |
引言 | 第13页 |
基本模型 | 第13-15页 |
第一节 直流电场中氢的分解过程 | 第15-35页 |
3.1.1 概述 | 第15页 |
3.1.2 结果与分析 | 第15-35页 |
第二节 低温淀积金刚石过程研究 | 第35-40页 |
第三节 EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量 | 第40-43页 |
第四章 直流电场中电子与乙炔分子的碰撞 | 第43-52页 |
4.1 引言 | 第43页 |
4.2 模型 | 第43页 |
4.3 结果与分析 | 第43-52页 |
第五章 结束语 | 第52-54页 |
参考文献 | 第54-56页 |