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H2/C2H2系统电子助进热丝化学气相沉积动力学过程研究

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-7页
第一章 引言第7-10页
第二章 蒙特卡罗方法简介第10-13页
第三章 EACVD中氢分子的分解及其对金刚石生长的影响第13-43页
 引言第13页
 基本模型第13-15页
 第一节 直流电场中氢的分解过程第15-35页
  3.1.1 概述第15页
  3.1.2 结果与分析第15-35页
 第二节 低温淀积金刚石过程研究第35-40页
 第三节 EACVD中用氢原子谱线测定电子平均能量第40-43页
第四章 直流电场中电子与乙炔分子的碰撞第43-52页
 4.1 引言第43页
 4.2 模型第43页
 4.3 结果与分析第43-52页
第五章 结束语第52-54页
参考文献第54-56页

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