采用工业以太网的多晶硅生产线监控系统研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·多晶硅介绍 | 第11页 |
| ·多晶硅生产的发展状况 | 第11-13页 |
| ·多晶硅生产工艺 | 第11-12页 |
| ·多晶硅生产面临的问题 | 第12-13页 |
| ·集散控制系统集成方案的发展趋势 | 第13-16页 |
| ·集散控制系统介绍 | 第13-14页 |
| ·工业以太网在集散控制系统中的应用 | 第14-16页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第16-17页 |
| ·课题的来源及主要研究的内容 | 第17-18页 |
| 第二章 多晶硅生产工艺参数与能耗的研究 | 第18-25页 |
| ·多晶硅生产线系统结构 | 第18-19页 |
| ·多晶硅生产工艺指标及其影响因素 | 第19-21页 |
| ·热分解炉介绍 | 第19-20页 |
| ·硅烷分解炉内的分解过程 | 第20-21页 |
| ·单参数实验 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 多晶硅生产线集散控制系统结构设计 | 第25-36页 |
| ·系统功能和结构分析 | 第25-27页 |
| ·硬件选用 | 第27-31页 |
| ·控制器的选用 | 第27-31页 |
| ·多晶硅生产线集散系统信号量的选取 | 第31页 |
| ·分解炉控制系统 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 多晶硅生产线监控策略的实现 | 第36-52页 |
| ·多晶硅生产线集散控制系统软件系统结构 | 第36-41页 |
| ·硅烷热分解炉过程控制程序设计 | 第41-44页 |
| ·模拟量的转换 | 第42-43页 |
| ·工艺流程控制 | 第43-44页 |
| ·多晶硅生产线监控层软件设计 | 第44-48页 |
| ·监控界面与运行参数显示 | 第44-46页 |
| ·生产参数趋势与存储 | 第46-48页 |
| ·多晶硅生产线集散控制系统生产过程数据的管理 | 第48-51页 |
| ·数据库管理系统 | 第48-50页 |
| ·数据库查询界面 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 热分解炉过程控制方法研究 | 第52-65页 |
| ·PID控制介绍 | 第52-53页 |
| ·多晶硅热分解炉系统辨识 | 第53-59页 |
| ·传递函数的确立 | 第53-54页 |
| ·热分解炉阶跃响应法系统辨识 | 第54-55页 |
| ·切线法辨识特征参数 | 第55-57页 |
| ·两点法辨识特征参数 | 第57-59页 |
| ·PID参数自整定 | 第59-61页 |
| ·切线法自整定及PID程序实现 | 第61-64页 |
| ·切线法自整定算法 | 第61-63页 |
| ·PID控制 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 试车及结果分析 | 第65-71页 |
| ·试车对象及实验设备 | 第65-66页 |
| ·实验目的 | 第66-67页 |
| ·实验步骤 | 第67页 |
| ·实验结果 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第七章 总结与展望 | 第71-73页 |
| ·总结 | 第71页 |
| ·展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
