| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-10页 |
| ·射频集成电路发展的背景 | 第8-9页 |
| ·课题的提出 | 第9页 |
| ·本文的组织结构 | 第9-10页 |
| 第二章 集成电路中电感简介 | 第10-42页 |
| ·电磁理论基本概念 | 第10-18页 |
| ·麦克斯韦方程组 | 第10-13页 |
| ·电感类元件的一些基本定义 | 第13-17页 |
| ·电感的自谐振频率和品质因数 | 第17-18页 |
| ·集成电路中电感的种类 | 第18-29页 |
| ·有源电感 | 第18-19页 |
| ·键合线电感 | 第19页 |
| ·基于MEMS 技术的片上螺旋电感 | 第19-24页 |
| ·硅基底上的平面螺旋电感 | 第24-29页 |
| ·集成电路中电感类元件建模方法概述 | 第29-37页 |
| ·用电磁场仿真工具进行建模和仿真 | 第30-31页 |
| ·用分段等效电路模型进行建模和仿真 | 第31页 |
| ·用集总模型进行建模和仿真 | 第31-37页 |
| ·提高集成电路中电感类元件性能的方法 | 第37-39页 |
| ·基于已有工艺对设计方法的改进 | 第37-38页 |
| ·改进工艺水平提高电感性能 | 第38-39页 |
| ·使用非标准工艺提高电感性能 | 第39页 |
| ·片上螺旋电感的应用实例 | 第39-41页 |
| ·LNA 中的应用 | 第39-40页 |
| ·VCO 中的应用 | 第40页 |
| ·RF Filter 中的应用 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 平面螺旋电感的高频效应及优化方法 | 第42-57页 |
| ·趋肤效应和邻近效应 | 第42-51页 |
| ·趋肤效应的理论分析 | 第43-46页 |
| ·邻近效应的理论分析 | 第46-48页 |
| ·趋肤效应和邻近效应的等效电路模型 | 第48-49页 |
| ·改善趋肤效应和邻近效应提高Q 值的方法 | 第49-51页 |
| ·金属导体间的寄生电容 | 第51-52页 |
| ·金属间寄生电容效应 | 第51页 |
| ·减小金属间电容提高自谐振频率的方法及等效电路模型 | 第51-52页 |
| ·导电衬底的容性寄生耦合损耗 | 第52-54页 |
| ·容性衬底耦合损耗成因 | 第52-53页 |
| ·容性衬底耦合的等效电路模型 | 第53-54页 |
| ·导电衬底的感性寄生耦合损耗 | 第54-56页 |
| ·感性衬底耦合损耗成因 | 第54页 |
| ·感性衬底耦合的等效电路模型 | 第54-55页 |
| ·改善两种衬底耦合效应提高电感性能的方法 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 平面螺旋电感的参数化等效电路模型 | 第57-69页 |
| ·平面螺旋电感的等效电路拓扑 | 第57-63页 |
| ·表征电感特性的物理量 | 第57-58页 |
| ·片外电感模型 | 第58页 |
| ·固定频率模型 | 第58-59页 |
| ·Single-PI 模型 | 第59-60页 |
| ·从Single-PI 模型到2-PI 模型 | 第60-63页 |
| ·本论文的工作 | 第63页 |
| ·平面螺旋电感的参数化模型 | 第63-68页 |
| ·模拟容性衬底耦合的C-R-C 三元件模型 | 第65-66页 |
| ·梯形结构的元件值 | 第66-67页 |
| ·线间耦合电容 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 平面螺旋电感的验证和综合 | 第69-84页 |
| ·平面螺旋电感的验证 | 第69-76页 |
| ·工艺参数 | 第69-70页 |
| ·技术文件校正 | 第70-71页 |
| ·固定尺寸模型验证 | 第71-76页 |
| ·平面螺旋电感的综合和优化 | 第76-82页 |
| ·综合和优化问题描述 | 第76-77页 |
| ·电感综合和优化的流程 | 第77-79页 |
| ·电感综合和优化的验证 | 第79-82页 |
| ·平面螺旋电感在电感电容压控振荡器中的应用 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 结论和展望 | 第84-85页 |
| 附录 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92页 |