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电化学检测的PMMA集成毛细管电泳芯片制作工艺研究

摘要第1-4页
Abstract第4-10页
第一章 序论第10-34页
   ·微电子机械系统(MEMS)简介第10-15页
     ·MEMS的发展第11-12页
     ·MEMS的特点第12页
     ·MEMS的加工方法第12-15页
   ·毛细管电泳的发展第15-16页
   ·CE CHIP研究进展第16-24页
     ·芯片毛细管电泳的常用材料第16-18页
     ·芯片加工制作技术第18-22页
     ·芯片检测技术第22-23页
     ·CE Chip检测应用第23-24页
   ·毛细管电泳集成芯片批量化生产前景第24页
   ·论文的主要工作第24-25页
 参考文献第25-34页
第二章 电化学检测的集成毛细管电泳芯片的理论基础第34-47页
   ·毛细管电泳理论基础第34-40页
     ·双电层第34-35页
     ·电泳第35-36页
     ·电渗第36-37页
     ·淌度第37-38页
     ·分离效率与分离度第38-39页
     ·区带宽度和区带展宽第39-40页
   ·电化学检测基础第40-45页
     ·伏安法第40-41页
     ·微电极理论第41-45页
 本章小结第45页
 参考文献第45-47页
第三章 电化学检测的集成毛细管电泳芯片的结构和设计第47-76页
   ·芯片的基本结构第47-48页
   ·微管道的几何设计第48-52页
   ·微管道中流体的控制与模拟第52-62页
     ·微流体的特性第52-53页
     ·微流体力学基础第53-56页
     ·微流体在微管道中流动的计算机模拟第56-62页
   ·毛细管电泳电动进样的控制与模拟第62-71页
     ·毛细管电泳中电动进样的数学模型第62-65页
     ·壁面电荷对微管道中电场分布的影响第65-68页
     ·毛细管电泳芯片中电动进样的计算机模拟第68-71页
   ·伏安法检测微电极体系的设计第71-73页
     ·伏安法电极体系的构成第71页
     ·毛细管电泳芯片中检测电极体系的设计第71-73页
 本章小结第73页
 参考文献第73-76页
第四章 电泳芯片制作工艺研究第76-105页
   ·电泳芯片原型样机的制作工艺第77-88页
     ·电泳芯片样机的基本制作原理第78页
     ·芯片的制作工艺第78-84页
     ·制作工艺讨论第84-88页
   ·电泳芯片的批量化制作工艺第88-102页
     ·芯片的基本制作原理第88-89页
     ·芯片的制作工艺第89-100页
     ·制作工艺讨论第100-102页
 本章小结第102页
 参考文献第102-105页
第五章 PMMA键合工艺研究第105-122页
   ·PMMA键合介绍第105页
   ·键合性能的表征第105-107页
   ·高聚物键合理论基础第107-111页
     ·界面与键合第107-109页
     ·键合理论第109-110页
     ·改性键合第110-111页
   ·PMMA热压键合研究第111-115页
     ·热压键合工艺流程第111-112页
     ·键合温度和压力对键合强度的影响第112-115页
   ·PMMA表面改性键合研究第115-119页
     ·改性键合工艺流程第115-117页
     ·键合因素对键合的影响第117-119页
   ·PMMA键合讨论第119-120页
 本章小结第120页
 参考文献第120-122页
第六章 芯片的测试及样品检测第122-135页
   ·实验测试装置第122-123页
   ·芯片初始进样第123-124页
   ·微电极的电化学特性第124-127页
     ·微电极的伏安特性第124-127页
   ·检测物的选择及其分离检测第127-134页
     ·检测物的选择第127-128页
     ·尿酸和抗坏血酸的分离检测第128-134页
   ·本章小结第134页
 参考文献第134-135页
第七章 论文总结第135-138页
   ·电泳芯片的模拟分析和设计第135页
   ·电泳芯片的制作工艺研究第135-136页
   ·PMMA键合研究第136-137页
   ·电泳芯片的测试与样品分离检测第137-138页
攻读博士学位期间发表的论文第138-139页
致谢第139页

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