| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·研究背景 | 第10页 |
| ·PZT材料 | 第10-13页 |
| ·PZT材料的发展历程 | 第10-11页 |
| ·PZT铁电材料的结构特性 | 第11-13页 |
| ·PZT铁电材料的研制与性能 | 第13页 |
| ·PZT铁电薄膜 | 第13-14页 |
| ·PZT薄膜与块体材料的差异 | 第14页 |
| ·本研究的主要内容及其研究现状 | 第14-15页 |
| ·本文研究的薄膜材料及其发展现状 | 第14-15页 |
| ·本研究的主要内容 | 第15页 |
| ·本研究的目的和意义 | 第15页 |
| ·本课题研究难点及目标 | 第15-17页 |
| ·工作思路 | 第15-16页 |
| ·方案设计 | 第16页 |
| ·工作的重点和难点 | 第16-17页 |
| 第二章 SOL-GEL法制备PZT95/05铁电薄膜 | 第17-28页 |
| ·引言 | 第17-22页 |
| ·薄膜的研究历史 | 第17页 |
| ·薄膜的制备技术 | 第17-18页 |
| ·薄膜的纳米结构 | 第18-19页 |
| ·薄膜的非理想情况和缺陷 | 第19-22页 |
| ·实验过程 | 第22-27页 |
| ·溶胶-凝胶法配制PZT95/05型稳定溶胶 | 第22-25页 |
| ·LNO底电极的制备 | 第25页 |
| ·PZT铁电薄膜的制备 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 PZT95/05铁电薄膜介电分析 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·实验过程 | 第28-29页 |
| ·实验设备以及材料 | 第28-29页 |
| ·样品表征 | 第29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-37页 |
| ·结构表征(XRD物相分析) | 第29-30页 |
| ·介电性能测试(介电温谱与频谱) | 第30-35页 |
| ·不同煅烧温度以及不同基底的薄膜性能的初步比较 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 介电弛豫理论拟合与等效电路分析 | 第38-51页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·结果与讨论 | 第38-50页 |
| ·介电响应的本质 | 第38-39页 |
| ·动态介电常数 | 第39-41页 |
| ·利用模型函数分析介电谱 | 第41-44页 |
| ·曲线拟合 | 第44-46页 |
| ·等效电路 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 全文总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |