| 第一章 引言 | 第1-15页 |
| ·研究背景现状 | 第8-14页 |
| ·研究重点和发展趋势 | 第14-15页 |
| 第二章 实验 | 第15-18页 |
| ·实验设备与仪器 | 第15页 |
| ·主要化学试剂及衬底基片 | 第15页 |
| ·测试仪器及用途 | 第15页 |
| ·衬底及加热器的清洁处理 | 第15-16页 |
| ·薄膜的制备 | 第16-18页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第18-38页 |
| ·SnO_2薄膜的结构特性 | 第18-27页 |
| ·SnO_2薄膜的电学特性 | 第27-29页 |
| ·SnO_2薄膜的表面形貌分析 | 第29-31页 |
| ·SnO_2薄膜的光学特性 | 第31-32页 |
| ·SnO_2薄膜的气敏特性 | 第32-38页 |
| 第四章 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-43页 |
| 致谢 | 第43页 |
| 硕士期间发表学术论文及参加的项目 | 第43页 |