| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-20页 |
| 1．1 微尺度热传输的概述 | 第7-10页 |
| 1．2 研究热传输现象的经典理论和方法 | 第10-16页 |
| 1．2．1 傅立叶分析 | 第10-13页 |
| 1．2．2 非傅立叶分析 | 第13页 |
| 1．2．3 实验传热学 | 第13-14页 |
| 1．2．4 数值求解 | 第14页 |
| 1．2．5 波耳兹曼传输方程 | 第14-16页 |
| 1．3 微尺度热输现象的研究现状 | 第16-18页 |
| 1．3．1 微电子器件中的热传输现象 | 第16-17页 |
| 1．3．2 微尺度热传输研究中的实验技术 | 第17页 |
| 1．3．3 微尺度热传输研究中的数值模拟 | 第17-18页 |
| 1．4 模拟铜薄膜热导率的意义 | 第18-20页 |
| 第二章 波耳兹曼传输方程方法研究金属薄膜的热导率 | 第20-28页 |
| 2．1 金属薄膜的尺寸效应模型 | 第20-21页 |
| 2．2 波耳兹曼传输方程计算金属薄膜的热导率 | 第21-28页 |
| 第三章 分子动力学模拟方法 | 第28-72页 |
| 3．1 分子动力学简介 | 第28-30页 |
| 3．2 平衡态分子动力学方法 | 第30-48页 |
| 3．2．1 基本运动方程 | 第30-31页 |
| 3．2．2 求解方法 | 第31-37页 |
| 3．2．3 周期性边界条件 | 第37-38页 |
| 3．2．4 初始条件 | 第38-39页 |
| 3．2．5 标度因子 | 第39-41页 |
| 3．2．6 作用力的计算 | 第41-43页 |
| 3．2．7 例子 | 第43-48页 |
| 3．3 时间关联函数（Time Correlation Function） | 第48-53页 |
| 3．3．1 时间关联函数 | 第48-51页 |
| 3．3．2 求解方法 | 第51-53页 |
| 3．4 非平衡态分子动力学方法 | 第53-61页 |
| 3．4．1 简介 | 第53-54页 |
| 3．4．2 非均质NEMD方法 | 第54-56页 |
| 3．4．3 均质NEMD方法 | 第56-61页 |
| 3．5 势函数 | 第61-63页 |
| 3．6 铜薄热导率的分子动力学模拟 | 第63-72页 |
| 3．6．1 流程 | 第63-65页 |
| 3．6．2 体形材料的热导率 | 第65-66页 |
| 3．6．3 薄膜的热导率 | 第66-72页 |
| 第四章 BTE方法和MD方法的结果比较 | 第72-75页 |
| 参考文献 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |