波长可调谐半导体激光器的设计及其制造工艺

摘要	第1-3页
ABSTRACT	第3-4页
目录	第4-6页
第一章 绪论	第6-16页
·半导体激光器的发展	第6-9页
·半导体激光器发展的几个重要阶段	第6-8页
·半导体激光器的应用及发展前景	第8-9页
·波长可调谐半导体激光器	第9-14页
·分布反馈(DFB)激光器	第9-11页
·分布布拉格反射器(DBR)激光器	第11-12页
·垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)	第12-13页
·外腔可调谐激光器(ECTL)	第13-14页
·本论文的主要内容	第14-16页
第二章 V型耦合腔半导体激光器	第16-29页
·研究背景	第16-18页
·器件结构及原理	第18-22页
·阈值条件分析	第22-24页
·模式选择特性	第24-28页
·总结	第28-29页
第三章 单片集成无跳模波长可调谐激光器	第29-42页
·研究背景	第29-30页
·光栅腔激光器的设计方法	第30-33页
·基于光栅腔结构的可调谐激光器设计方法	第33-35页
·单片集成无跳模波长可调谐激光器设计方法	第35-42页
第四章 V型耦合腔半导体激光器的制造工艺及其改进	第42-56页
·工艺流程	第42-48页
·基本工艺流程	第42-45页
·改进的工艺流程	第45-48页
·实验具体操作及工艺改进	第48-55页
·总结	第55-56页
第五章 总结与展望	第56-58页
·本论文的主要内容	第56页
·实验工作总结	第56页
·课题研究的创新点	第56-57页
·工作展望	第57-58页
致谢	第58-59页
参考文献	第59-60页