电极自动压封设备研制及封接质量提高
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
1 绪论 | 第8-20页 |
1.1 课题研究背景及意义 | 第8页 |
1.2 铟封技术及其发展现状 | 第8-13页 |
1.2.1 冷压铟封 | 第10-11页 |
1.2.2 热铟压封 | 第11-13页 |
1.3 热压设备的国内外研究现状 | 第13-19页 |
1.3.1 热压设备的国内研究现状 | 第13-16页 |
1.3.2 热压设备的国外研究现状 | 第16-19页 |
1.4 课题主要研究内容 | 第19-20页 |
2 铟封工艺分析及设备硬件总体方案设计 | 第20-28页 |
2.1 铟封工艺分析 | 第20-23页 |
2.1.1 腔体对准 | 第20-21页 |
2.1.2 自动上料 | 第21页 |
2.1.3 保温保压 | 第21-23页 |
2.2 压封任务分析 | 第23-24页 |
2.2.1 待压封零件特性分析 | 第23页 |
2.2.2 压封设备要解决的问题 | 第23-24页 |
2.3 设备硬件总体方案设计 | 第24-27页 |
2.3.1 电极压封设备设计理论 | 第24-25页 |
2.3.2 设备要求技术指标 | 第25页 |
2.3.3 设备硬件总体方案设计 | 第25-27页 |
2.4 本章小结 | 第27-28页 |
3 电极自动压封设备硬件结构设计 | 第28-54页 |
3.1 作业机械手的设计 | 第28-41页 |
3.1.1 三轴移动平台的设计 | 第28-31页 |
3.1.2 电极拾取装置的设计 | 第31-38页 |
3.1.3 视觉检测装置的设计 | 第38-41页 |
3.2 机身框架的设计 | 第41-50页 |
3.2.1 机身结构的设计 | 第41-44页 |
3.2.2 直线进给系统的设计 | 第44-46页 |
3.2.3 压力检测系统的设计 | 第46-47页 |
3.2.4 腔体移动平台的设计 | 第47-50页 |
3.3 热压头的设计 | 第50-53页 |
3.3.1 热压头主体的设计 | 第50-52页 |
3.3.2 电极适配环的设计 | 第52-53页 |
3.4 本章小结 | 第53-54页 |
4 基于有限元方法的热压头温度及压力一致性研究 | 第54-65页 |
4.1 热压头的温度性能分析 | 第54-61页 |
4.1.1 建立仿真模型 | 第55-56页 |
4.1.2 热压头瞬态热分析 | 第56-57页 |
4.1.3 热压头稳态热分析 | 第57-61页 |
4.2 压力一致性分析 | 第61-64页 |
4.2.1 影响压力一致性因素分析 | 第61-62页 |
4.2.2 机身结构仿真分析 | 第62-64页 |
4.3 本章小结 | 第64-65页 |
5 铟封设备精度测试及应用实验 | 第65-73页 |
5.1 铟封设备测试 | 第65-70页 |
5.1.1 设备导轨重复定位精度测试 | 第65-68页 |
5.1.2 热压头温度补偿测试 | 第68-69页 |
5.1.3 压封力精度测试 | 第69-70页 |
5.2 热铟压封应用实验 | 第70-72页 |
5.3 本章小结 | 第72-73页 |
结论与展望 | 第73-75页 |
参考文献 | 第75-78页 |
攻读硕士期间发表学术论文情况 | 第78-79页 |
致谢 | 第79-81页 |