双等离子体离子源放电电源的研制
| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第11-14页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第11-13页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 双等离子体离子源放电电源的总体设计 | 第18-33页 |
| 2.1 需求分析 | 第18-20页 |
| 2.1.1 放电电源工作过程 | 第18-19页 |
| 2.1.2 放电电源参数要求 | 第19-20页 |
| 2.2 电源主电路拓扑 | 第20-24页 |
| 2.3 电源控制方案 | 第24-30页 |
| 2.3.1 电源调制方式 | 第24-25页 |
| 2.3.2 全桥型变换器拓扑开关控制方式 | 第25-27页 |
| 2.3.3 电源反馈控制方式 | 第27-29页 |
| 2.3.4 PI调节器 | 第29-30页 |
| 2.4 放电电源总体设计方案 | 第30-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 放电电源主电路的研制 | 第33-46页 |
| 3.1 整流滤波电路 | 第33-34页 |
| 3.2 耦合隔离驱动电路 | 第34-35页 |
| 3.3 全桥逆变电路 | 第35-36页 |
| 3.3.1 功率开关的选择 | 第35-36页 |
| 3.3.2 全桥逆变电路的设计 | 第36页 |
| 3.4 高频变压器的设计 | 第36-38页 |
| 3.5 高频整流滤波电路 | 第38-39页 |
| 3.6 电压释放电路 | 第39-41页 |
| 3.7 主电路的测试 | 第41-45页 |
| 3.7.1 整流滤波电路测试 | 第42页 |
| 3.7.2 全桥逆变电路的测试 | 第42-43页 |
| 3.7.3 高频变压器 | 第43-44页 |
| 3.7.4 电压释放电路 | 第44页 |
| 3.7.5 高频整流滤波电路 | 第44-45页 |
| 3.8 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 放电电源控制及保护电路的研制 | 第46-57页 |
| 4.1 移相PWM控制电路 | 第46-49页 |
| 4.1.1 移相PWM控制电路的设计 | 第46-48页 |
| 4.1.2 移相PWM控制电路的测试 | 第48-49页 |
| 4.2 恒压控制电路 | 第49-51页 |
| 4.3 恒流控制电路 | 第51-53页 |
| 4.4 恒压恒流钳位电路 | 第53-54页 |
| 4.5 保护及辅助电路 | 第54-56页 |
| 4.5.1 过流保护电路 | 第54-55页 |
| 4.5.2 过温保护电路 | 第55-56页 |
| 4.5.3 基准电压 | 第56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 放电电源集成、测试与应用 | 第57-69页 |
| 5.1 放电电源的集成 | 第57-58页 |
| 5.1.1 PCB板设计 | 第57-58页 |
| 5.1.2 电源箱的设计 | 第58页 |
| 5.2 电源指标参数测试 | 第58-61页 |
| 5.3 电源性能测试 | 第61-62页 |
| 5.4 应用 | 第62-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 全文总结 | 第69-71页 |
| 6.1 主要工作总结 | 第69-70页 |
| 6.2 主要不足与下一步工作计划 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 作者简介与科研成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
