| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 柔性电路板及其制造过程关键工序介绍 | 第10-13页 |
| 1.2.1 柔性电路板及其制造过程介绍 | 第10-11页 |
| 1.2.2 蚀刻工序介绍及其过程参数分析 | 第11-13页 |
| 1.3 统计过程监控概述 | 第13-15页 |
| 1.3.1 过程监控基本概念及研究内容 | 第13-14页 |
| 1.3.2 统计过程监控研究方法 | 第14-15页 |
| 1.4 针对时变特征的过程监控方法研究现状 | 第15-16页 |
| 1.5 针对多模态特征的过程监控方法研究现状 | 第16-17页 |
| 1.6 电子制造过程监控研究现状 | 第17-18页 |
| 1.7 论文主要研究内容与结构 | 第18-20页 |
| 第二章 多变量统计过程监控方法 | 第20-27页 |
| 2.1 多变量统计过程监控方法基本步骤 | 第20-22页 |
| 2.2 核主元特征提取算法 | 第22-23页 |
| 2.3 基于支持向量数据描述模型的监控指标 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 时变过程监控方法研究 | 第27-44页 |
| 3.1 多变量统计过程动态模型监控方法 | 第27-28页 |
| 3.2 递归核主元特征提取模型更新策略 | 第28-31页 |
| 3.2.1 递归特征值分解 | 第28-29页 |
| 3.2.2 递归核主元特征提取模型策略 | 第29-31页 |
| 3.3 自适应支持向量描述模型快速更新策略 | 第31-35页 |
| 3.3.1 支持向量数据描述模型等价条件 | 第31-34页 |
| 3.3.2 自适应支持向量数据描述模型快速更新策略 | 第34-35页 |
| 3.4 基于递归及自适应模型更新的动态监控方法 | 第35-36页 |
| 3.5 仿真实验分析 | 第36-43页 |
| 3.5.1 时变数值仿真例子实验研究 | 第36-39页 |
| 3.5.2 TE过程仿真应用研究 | 第39-43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 多模态过程监控方法研究 | 第44-60页 |
| 4.1 多变量统计过程多模型监控方法 | 第44-45页 |
| 4.2 离线建模阶段模态划分策略 | 第45-48页 |
| 4.2.1 峰值聚类算法介绍 | 第46页 |
| 4.2.2 基于峰值聚类算法的模态划分策略 | 第46-48页 |
| 4.3 过程监控阶段模态匹配策略 | 第48-50页 |
| 4.3.1 局部异常因子算法介绍 | 第48-49页 |
| 4.3.2 基于局部异常因子的模态匹配策略 | 第49-50页 |
| 4.4 基于峰值聚类及局部特征信息的多模型过程监控方法 | 第50-51页 |
| 4.5 仿真实验分析 | 第51-59页 |
| 4.5.1 多模态数值仿真应用研究 | 第51-55页 |
| 4.5.2 TE过程仿真应用研究 | 第55-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 监控方法的集成与应用 | 第60-67页 |
| 5.1 时变多模态过程的监控方案设计 | 第60-62页 |
| 5.2 时变多模态监控方案在蚀刻工序仿真数据中的应用 | 第62-64页 |
| 5.3 FPC制造过程蚀刻工序监控系统设计 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附录 | 第77页 |
