摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的研究现状 | 第11-21页 |
1.1 引言 | 第11页 |
1.2 ZnO的基本介绍 | 第11-13页 |
1.2.1 ZnO的晶体结构 | 第11-12页 |
1.2.2 ZnO的应用 | 第12-13页 |
1.3 SrTiO_3的基本介绍 | 第13-14页 |
1.3.1 SrTiO_3的结构 | 第13-14页 |
1.3.2 SrTiO_3的应用 | 第14页 |
1.4 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的研究现状 | 第14-15页 |
1.5 本文的主要研究内容 | 第15-17页 |
参考文献 | 第17-21页 |
第2章 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的生长与表征 | 第21-33页 |
2.1 Nb:SrTiO_3/ZnO器件的制备方法 | 第21页 |
2.2 磁控溅射技术 | 第21-23页 |
2.3 表征手段 | 第23-28页 |
2.3.1 X射线衍射 | 第23-24页 |
2.3.2 Keithley 2400 | 第24页 |
2.3.3 Aglient 4294A | 第24-25页 |
2.3.4 变温系统 | 第25-26页 |
2.3.5 综合物性测量系统(PPMS) | 第26-27页 |
2.3.6 深能级瞬态谱(DLTS) | 第27-28页 |
2.4 本章小结 | 第28-30页 |
参考文献 | 第30-33页 |
第3章 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的整流效应 | 第33-43页 |
3.1 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的生长 | 第33-34页 |
3.1.1 衬底的选择 | 第33页 |
3.1.2 利用磁控溅射仪生长ZnO薄膜 | 第33-34页 |
3.2 XRD表征 | 第34-35页 |
3.3 形貌表征 | 第35-36页 |
3.4 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的电学性质 | 第36-39页 |
3.4.1 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的I-V特性 | 第37-38页 |
3.4.2 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的C-V特性 | 第38-39页 |
3.5 本章小结 | 第39-40页 |
参考文献 | 第40-43页 |
第4章 磁场/温度/光照对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的整流效应的影响 | 第43-61页 |
4.1 磁场对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结电学性质的影响 | 第43-49页 |
4.1.1 磁场对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结I-V特性的影响 | 第43-44页 |
4.1.2 磁场对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结C-V特性的影响 | 第44-46页 |
4.1.3 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的磁性测试 | 第46-49页 |
4.2 温度对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的整流效应的影响 | 第49-55页 |
4.2.1 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的变温I-V测试 | 第49-52页 |
4.2.2 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的变温C-V测试 | 第52-55页 |
4.3 光照对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结电学性质的影响 | 第55-58页 |
4.3.1 光照对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结I-V特性的影响 | 第55-57页 |
4.3.2 光照对Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结C-V特性的影响 | 第57-58页 |
4.4 本章小结 | 第58-59页 |
参考文献 | 第59-61页 |
第5章 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的深能级瞬态谱 | 第61-67页 |
5.1 深能级瞬态谱(DLTS)测试原理 | 第61页 |
5.2 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结的深能级测试 | 第61-65页 |
5.2.1 Nb:SrTiO_3/外延异质结的制备 | 第61-62页 |
5.2.2 Nb:SrTiO_3/ZnO外延异质结DLTS测试 | 第62-65页 |
5.3 本章小结 | 第65-66页 |
参考文献 | 第66-67页 |
总结与展望 | 第67-69页 |
致谢 | 第69-71页 |
攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第71-72页 |