| 摘要 | 第3-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第15-30页 |
| 1.1 ZnO晶体结构 | 第15页 |
| 1.2 ZnO薄膜的压电性质 | 第15-18页 |
| 1.3 基于ZnO薄膜多层结构的声表面波器件 | 第18-21页 |
| 1.3.1 ZnO/Si或ZnO/SiO2/Si结构 | 第20页 |
| 1.3.2 ZnO/石英 | 第20页 |
| 1.3.3 ZnO/蓝宝石 | 第20-21页 |
| 1.4 声表面波传感器 | 第21-23页 |
| 1.5 湿度传感器 | 第23-24页 |
| 1.6 论文的主要内容 | 第24-25页 |
| 参考文献 | 第25-30页 |
| 第二章 Love波湿度传感器的湿度响应及机理分析 | 第30-50页 |
| 2.1 引言 | 第30-31页 |
| 2.2 基于(1120)ZnO/R-sapphire双层结构Love波传感器的制备 | 第31-36页 |
| 2.2.1 射频磁控溅射系统 | 第31-32页 |
| 2.2.2 射频磁控溅射法制备(1120)ZnO薄膜 | 第32-34页 |
| 2.2.3 Love波传感器的制备 | 第34-36页 |
| 2.3 Love波湿度传感器的湿度响应实验 | 第36-41页 |
| 2.3.1 湿度控制及测试系统 | 第36-38页 |
| 2.3.2 Love波湿度传感器湿度测试实验 | 第38-41页 |
| 2.4 Love波传感器湿度响应机理探究 | 第41-46页 |
| 2.4.1 固体表面对水分子物理吸附的微观形态研究 | 第41-42页 |
| 2.4.2 简述BET模型 | 第42-44页 |
| 2.4.3 BET理论拟合Love湿度传感器湿度响应实验数据 | 第44-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-50页 |
| 第三章 有限元法分析(1120)ZnO/R-sapphire双层结构中声表面波的传播特征 | 第50-63页 |
| 3.1 引言 | 第50-51页 |
| 3.2 理论分析及材料属性 | 第51-53页 |
| 3.3 模型中关于晶体切割的欧拉角坐标变换 | 第53-54页 |
| 3.4 (1120)ZnO/R-sapphir双层结构中传播的声表面波声学特性 | 第54-57页 |
| 3.5 (1120)ZnO/R-sapphir双层结构中传播的声表面波电学特性 | 第57-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 第四章 有限元法仿真声表面波湿度传感器的响应特性 | 第63-77页 |
| 4.1 引言 | 第63-64页 |
| 4.2 模型介绍 | 第64-67页 |
| 4.2.1 几何模型 | 第64-65页 |
| 4.2.2 物理模型 | 第65-66页 |
| 4.2.3 湿度传感器表面水分子层的物理参数 | 第66-67页 |
| 4.3 声表面波湿度传感器的频响分析 | 第67-69页 |
| 4.4 水分子层机械性质与电学性质对声表面波湿度传感器湿度响应的影响 | 第69-74页 |
| 4.5 本章小结 | 第74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 攻读硕士期间的工作成果 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
