| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| 1.1 太阳能电池 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外太阳能电池的发展的最新动态 | 第13-14页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 晶硅电池的技术与发展 | 第16-36页 |
| 2.1 光伏效应 | 第16-19页 |
| 2.2 多晶硅及其他光电转换材料 | 第19-21页 |
| 2.3 晶硅电池的技术发展 | 第21-27页 |
| 2.4 太阳电池用晶硅材料 | 第27-31页 |
| 2.5 晶硅电池的商业化生产和市场发展 | 第31-34页 |
| 2.6 二十一世纪晶硅电池的发展趋势和展望 | 第34-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 非晶硅太阳电池 | 第36-47页 |
| 3.1 非晶硅太阳电池概述 | 第36-39页 |
| 3.2 非晶硅太阳电池的初期发展 | 第39-42页 |
| 3.3 非晶硅太阳电池技术的发展 | 第42-45页 |
| 3.4 非晶硅太阳电池的未来发展 | 第45-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 多晶薄膜与薄膜太阳电池 | 第47-66页 |
| 4.1 多晶薄膜太阳电池 | 第47-54页 |
| 4.3 CDS／CULNSE2 薄膜太阳电池 | 第54-56页 |
| 4.4 多晶薄膜CDTE 材料与CDTE／CDS 太阳电池 | 第56-60页 |
| 4.5 晶体硅薄膜的制备方法及晶体硅薄膜太阳电池 | 第60-63页 |
| 4.6 有机半导体太阳电池 | 第63-65页 |
| 4.7 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 PECVD 法生长氮化硅工艺的研究 | 第66-72页 |
| 5.1 概述 | 第66页 |
| 5.2 PECVD 工艺实验 | 第66页 |
| 5.3 PECVD 实验结果 | 第66-70页 |
| 5.4 实验结果讨论 | 第70-71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 第六章 温度对RTCVD 法制备多晶硅薄膜生长的影响 | 第72-81页 |
| 6.1 RTCVD 实验 | 第72-74页 |
| 6.2 实验结果与讨论 | 第74-80页 |
| 6.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第七章 总结与展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第85页 |