基于机器人的液流悬浮研抛加工理论与试验研究

第一章 绪论	第4-13页
1.1 超精密加工的研究现状及发展趋势	第4-7页
1.2 超光滑自由曲面制造技术概况	第7-12页
1.3 课题背景及本文的研究内容	第12-13页
第二章 基于机器人的液流悬浮研抛加工系统	第13-27页
2.1 基于机器人的液流悬浮研抛加工系统构成	第13-16页
2.2 YR-SV3-J00型机器人的基本性能	第16-22页
2.3 GXY-K5050型XY工作台及其控制	第22-25页
2.4 液流悬浮研抛装置的研制	第25-27页
第三章 液流悬浮研抛加工理论分析	第27-44页
3.1 液流悬浮研抛加工理论基础	第27-31页
3.2 加工区域的流体动压分析	第31-37页
3.3 单个磨粒作用模型的建立	第37-40页
3.4 分子动力学在研抛机理研究中的应用	第40-44页
第四章 液流悬浮研抛加工试验研究	第44-59页
4.1 液流悬浮研抛的试验条件	第44-45页
4.2 表面粗糙度的评定	第45-47页
4.3 变参数液流悬浮研抛对比试验	第47-55页
4.4 纳米级液流悬浮研抛试验	第55-59页
第五章 结论	第59-60页
参考文献	第60-67页
致谢	第67-68页
摘要	第68-73页
Abstract	第73页