首页--工业技术论文--一般工业技术论文--工程材料学论文--特种结构材料论文

粒子入射角变化条件下类金刚石碳膜的制备及性能研究

摘要第7-8页
Abstract第8-9页
第一章 绪论第10-22页
    1.1 非晶碳膜的结构和分类第10-12页
    1.2 类金刚石薄膜的生长模型第12-13页
    1.3 类金刚石碳膜的制备第13-15页
        1.3.1 物理气相沉积(PVD)第14页
        1.3.2 化学气相沉积(CVD)第14页
        1.3.3 液相沉积技术第14-15页
    1.4 非晶碳膜的表征第15-17页
        1.4.1 形貌分析第15页
        1.4.2 结构分析第15-17页
    1.5 类金刚石碳膜的应用第17-18页
    1.6 国内外研究现状第18-20页
    1.7 本文的选题依据和研究内容第20-22页
        1.7.1 选题依据第20-21页
        1.7.2 主要研究内容第21-22页
第二章 粒子入射角度对a-C薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究第22-37页
    2.1 引言第22页
    2.2 实验部分第22-23页
        2.2.1 实验装置第22页
        2.2.2 薄膜的制备第22-23页
    2.3 薄膜的表征第23-24页
    2.4 结果与讨论第24-36页
        2.4.1 沉积速率第24-25页
        2.4.2 形貌分析第25-28页
            2.4.2.1 SEM分析第25-26页
            2.4.2.2 AFM分析第26-28页
        2.4.3 XPS分析第28-30页
        2.4.4 Raman光谱第30-32页
        2.4.5 粒子入射角度对a-C薄膜性能的影响第32-36页
            2.4.5.1 力学性能第32-35页
            2.4.5.2 摩擦学性能第35-36页
    2.5 本章小结第36-37页
第三章 粒子入射角度对a-C:H薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究第37-47页
    3.1 引言第37页
    3.2 薄膜的制备与表征第37页
    3.3 结果与讨论第37-46页
        3.3.1 沉积速率第37-39页
        3.3.2 AFM分析第39-40页
        3.3.3 XPS分析第40-42页
        3.3.4 Raman光谱第42-43页
        3.3.5 粒子入射角度对a-C:H薄膜性能的影响第43-46页
            3.3.5.1 力学性能第43-44页
            3.3.5.2 摩擦学性能第44-46页
    3.4 本章小结第46-47页
第四章 基底转动速度对a-C薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究第47-56页
    4.1 引言第47页
    4.2 薄膜的制备第47-48页
    4.3 薄膜的表征第48页
    4.4 结果与讨论第48-55页
        4.4.1 沉积速率第48-49页
        4.4.2 AFM分析第49-51页
        4.4.3 XPS分析第51-52页
        4.4.4 Raman光谱第52-53页
        4.4.5 基底转动速度对a-C薄膜性能的影响第53-55页
    4.5 本章小结第55-56页
第五章 基底转动速度对a-C:H碳膜表面形貌、微结构及性能影响的研究第56-65页
    5.1 引言第56页
    5.2 薄膜的制备与表征第56页
    5.3 结果与讨论第56-63页
        5.3.1 沉积速率第56-57页
        5.3.2 AFM分析第57-59页
        5.3.3 XPS分析第59-60页
        5.3.4 Raman光谱第60-61页
        5.3.5 基底转动速度对a-C:H薄膜性能的影响第61-63页
    5.4 本章小结第63-65页
结论第65-67页
    1.主要结论第65-66页
    2.本文的创新之处第66-67页
参考文献第67-75页
致谢第75-76页
附录A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文目录第76页

论文共76页,点击 下载论文
上一篇:“一V 一个A”格式检视
下一篇:《经贸汉语阅读教程》中的词汇教学