摘要 | 第7-8页 |
Abstract | 第8-9页 |
第一章 绪论 | 第10-22页 |
1.1 非晶碳膜的结构和分类 | 第10-12页 |
1.2 类金刚石薄膜的生长模型 | 第12-13页 |
1.3 类金刚石碳膜的制备 | 第13-15页 |
1.3.1 物理气相沉积(PVD) | 第14页 |
1.3.2 化学气相沉积(CVD) | 第14页 |
1.3.3 液相沉积技术 | 第14-15页 |
1.4 非晶碳膜的表征 | 第15-17页 |
1.4.1 形貌分析 | 第15页 |
1.4.2 结构分析 | 第15-17页 |
1.5 类金刚石碳膜的应用 | 第17-18页 |
1.6 国内外研究现状 | 第18-20页 |
1.7 本文的选题依据和研究内容 | 第20-22页 |
1.7.1 选题依据 | 第20-21页 |
1.7.2 主要研究内容 | 第21-22页 |
第二章 粒子入射角度对a-C薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究 | 第22-37页 |
2.1 引言 | 第22页 |
2.2 实验部分 | 第22-23页 |
2.2.1 实验装置 | 第22页 |
2.2.2 薄膜的制备 | 第22-23页 |
2.3 薄膜的表征 | 第23-24页 |
2.4 结果与讨论 | 第24-36页 |
2.4.1 沉积速率 | 第24-25页 |
2.4.2 形貌分析 | 第25-28页 |
2.4.2.1 SEM分析 | 第25-26页 |
2.4.2.2 AFM分析 | 第26-28页 |
2.4.3 XPS分析 | 第28-30页 |
2.4.4 Raman光谱 | 第30-32页 |
2.4.5 粒子入射角度对a-C薄膜性能的影响 | 第32-36页 |
2.4.5.1 力学性能 | 第32-35页 |
2.4.5.2 摩擦学性能 | 第35-36页 |
2.5 本章小结 | 第36-37页 |
第三章 粒子入射角度对a-C:H薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究 | 第37-47页 |
3.1 引言 | 第37页 |
3.2 薄膜的制备与表征 | 第37页 |
3.3 结果与讨论 | 第37-46页 |
3.3.1 沉积速率 | 第37-39页 |
3.3.2 AFM分析 | 第39-40页 |
3.3.3 XPS分析 | 第40-42页 |
3.3.4 Raman光谱 | 第42-43页 |
3.3.5 粒子入射角度对a-C:H薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
3.3.5.1 力学性能 | 第43-44页 |
3.3.5.2 摩擦学性能 | 第44-46页 |
3.4 本章小结 | 第46-47页 |
第四章 基底转动速度对a-C薄膜表面形貌、微结构及性能影响的研究 | 第47-56页 |
4.1 引言 | 第47页 |
4.2 薄膜的制备 | 第47-48页 |
4.3 薄膜的表征 | 第48页 |
4.4 结果与讨论 | 第48-55页 |
4.4.1 沉积速率 | 第48-49页 |
4.4.2 AFM分析 | 第49-51页 |
4.4.3 XPS分析 | 第51-52页 |
4.4.4 Raman光谱 | 第52-53页 |
4.4.5 基底转动速度对a-C薄膜性能的影响 | 第53-55页 |
4.5 本章小结 | 第55-56页 |
第五章 基底转动速度对a-C:H碳膜表面形貌、微结构及性能影响的研究 | 第56-65页 |
5.1 引言 | 第56页 |
5.2 薄膜的制备与表征 | 第56页 |
5.3 结果与讨论 | 第56-63页 |
5.3.1 沉积速率 | 第56-57页 |
5.3.2 AFM分析 | 第57-59页 |
5.3.3 XPS分析 | 第59-60页 |
5.3.4 Raman光谱 | 第60-61页 |
5.3.5 基底转动速度对a-C:H薄膜性能的影响 | 第61-63页 |
5.4 本章小结 | 第63-65页 |
结论 | 第65-67页 |
1.主要结论 | 第65-66页 |
2.本文的创新之处 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-75页 |
致谢 | 第75-76页 |
附录A 攻读硕士学位期间所发表的学术论文目录 | 第76页 |