摘要 | 第4-6页 |
ABSTRACT | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第13-30页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-14页 |
1.2 单晶硅纳米切削技术的研究现状 | 第14-20页 |
1.2.1 单晶硅的纳米切削机理 | 第15-17页 |
1.2.2 单晶硅纳米切削的实验研究 | 第17-18页 |
1.2.3 单晶硅纳米切削的分子动力学模拟 | 第18-20页 |
1.3 金刚石刀具磨损的研究现状 | 第20-25页 |
1.3.1 金刚石刀具的磨损机理 | 第20-22页 |
1.3.2 金刚石刀具磨损的实验研究 | 第22-23页 |
1.3.3 金刚石刀具磨损的分子动力学模拟 | 第23-25页 |
1.4 金刚石石墨化的研究现状 | 第25-28页 |
1.4.1 金刚石的石墨化机理 | 第25-27页 |
1.4.2 金刚石石墨化的影响因素 | 第27-28页 |
1.5 目前研究存在的不足 | 第28-29页 |
1.6 本文的主要研究内容 | 第29-30页 |
第2章 纳米切削的分子动力学模型及金刚石石墨化的分析 | 第30-48页 |
2.1 引言 | 第30页 |
2.2 分子动力学基本思想和理论基础 | 第30-38页 |
2.2.1 纳米切削的仿真模型 | 第31页 |
2.2.2 模拟参数 | 第31-37页 |
2.2.3 金刚石和石墨的表征方法 | 第37-38页 |
2.3 金刚石石墨化分析 | 第38-44页 |
2.3.1 结构分析 | 第38-39页 |
2.3.2 分子动力学仿真分析 | 第39-44页 |
2.4 纳米切削的分子动力学刀具模型 | 第44-47页 |
2.4.1 传统刀具模型的修正 | 第44-45页 |
2.4.2 修正刀具模型的验证 | 第45-47页 |
2.5 本章小结 | 第47-48页 |
第3章 单晶硅纳米切削机理的研究 | 第48-71页 |
3.1 引言 | 第48页 |
3.2 大规模分子动力学模型及切削参数 | 第48-49页 |
3.3 各向异性对单晶硅纳米切削的影响 | 第49-63页 |
3.3.1 表面完整性 | 第50-53页 |
3.3.2 切屑的分析 | 第53-55页 |
3.3.3 剪切变形及应力分析 | 第55-60页 |
3.3.4 单晶硅的材料去除机理 | 第60-62页 |
3.3.5 单晶硅中的温度分布 | 第62-63页 |
3.4 切削参数对单晶硅纳米切削的影响 | 第63-69页 |
3.4.1 刀具前角和后角的影响 | 第63-65页 |
3.4.2 刃口半径的影响 | 第65-67页 |
3.4.3 背吃刀量的影响 | 第67-69页 |
3.5 本章小结 | 第69-71页 |
第4章 金刚石刀具石墨化磨损机理的研究 | 第71-91页 |
4.1 引言 | 第71页 |
4.2 分子动力学模型与切削参数 | 第71-72页 |
4.3 金刚石刀具石墨化磨损机理的研究 | 第72-83页 |
4.3.1 低温时金刚石刀具的磨损 | 第73-79页 |
4.3.2 温度对金刚石刀具磨损的影响 | 第79-83页 |
4.4 各向异性对金刚石刀具抗磨损能力的影响 | 第83-89页 |
4.4.1 金刚石刀具磨损结果分析 | 第83-88页 |
4.4.2 金刚石刀具的温度分析 | 第88页 |
4.4.3 金刚石刀具的摩擦系数分析 | 第88-89页 |
4.5 本章小结 | 第89-91页 |
第5章 刀具几何形状对金刚石刀具磨损的影响 | 第91-111页 |
5.1 引言 | 第91页 |
5.2 分子动力学模型与切削参数 | 第91-92页 |
5.3 刀具角度对金刚石刀具磨损的影响 | 第92-104页 |
5.3.1 前角和后角的影响 | 第92-96页 |
5.3.2 前刀面磨损的分析 | 第96-101页 |
5.3.3 后刀面磨损的分析 | 第101-104页 |
5.4 后表面微结构对刀具磨损的影响 | 第104-109页 |
5.4.1 微沟槽深度的影响 | 第105-107页 |
5.4.2 微沟槽密度的影响 | 第107-109页 |
5.5 本章小结 | 第109-111页 |
结论 | 第111-114页 |
参考文献 | 第114-127页 |
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第127-129页 |
致谢 | 第129-130页 |
个人简历 | 第130页 |