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柔性力敏薄膜及阵列压力传感器的研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
第一章 绪论第11-19页
    1.1 研究工作的背景和研究意义第11-12页
    1.2 国内外研究现状第12-16页
        1.2.1 国内研究现状第13-14页
        1.2.2 国外研究现状第14-16页
    1.3 选题依据与研究方案第16-19页
        1.3.1 选题来源与依据第16-17页
        1.3.2 本论文研究方案第17-19页
第二章 柔性力敏薄膜导电机理分析与性能表征方法第19-28页
    2.1 柔性力敏薄膜的导电机理分析第19-24页
        2.1.1 加和性质渗流模型理论(导电通道理论)第19-22页
        2.1.2 加和性质隧道效应模型第22-23页
        2.1.3 功能乘积性质压阻效应原理第23-24页
    2.2 力敏薄膜的性能表征方法第24-27页
        2.2.1 力敏薄膜表面形貌表征(SEM)第25页
        2.2.2 力敏薄膜厚度和方阻测试第25-26页
        2.2.3 力敏薄膜灵敏系数测试第26-27页
        2.2.4 力敏薄膜不同压力下重复性和响应时间测试第27页
    2.3 本章小结第27-28页
第三章 柔性薄膜压力传感器的设计制作及其阵列化第28-48页
    3.1 力敏薄膜的制备工艺研究第28-30页
        3.1.1 基体材料的选择第28页
        3.1.2 导电填料的选择第28-29页
        3.1.3 纳米改性材料的选择第29-30页
        3.1.4 有机溶剂的选择第30页
    3.2 压力传感器制备第30-35页
        3.2.1 单点式压力传感器电极衬底制备第30-32页
        3.2.2 阵列式压力传感器电极衬底制备第32-33页
        3.2.3 制备工艺流程第33-35页
    3.3 力敏薄膜性能研究第35-42页
        3.3.1 渗流阈值与最优化配比第35-37页
        3.3.2 薄膜厚度对电阻的影响第37-39页
        3.3.3 力敏薄膜电阻稳定性与材料蠕变特性分析第39-42页
    3.4 柔性压力传感器性能研究第42-46页
        3.4.1 柔性压力传感器灵敏系数测试第42-44页
        3.4.2 柔性压力传感器重复性和响应时间测试第44-45页
        3.4.3 弯曲度传感器弯曲应变测试第45-46页
    3.5 本章小结第46-48页
第四章传感器信号采集系统设计第48-65页
    4.1 单点式压力传感器电路设计第48-51页
        4.1.1 负电源模块第48-49页
        4.1.2 放大器模块第49-50页
        4.1.3 AVR单片机控制电路设计与程序实现第50-51页
    4.2 阵列压力传感器电路设计第51-59页
        4.2.1 阵列电阻测量的交叉耦合问题第51-54页
        4.2.2AVR单片机外围电路设计第54-56页
        4.2.3 后端电路实现及AVR单片机程序设计第56-59页
    4.3 基于Labview的上位机采集系统设计第59-61页
        4.3.1 单点式压力传感器Labview上位机实现第59-60页
        4.3.2 阵列式压力传感器Labview上位机实现第60-61页
    4.4 综合测试结果第61-63页
        4.4.1 单点压力传感器测量系统测试结果第61-63页
        4.4.2 阵列压力传感器测量系统测试结果第63页
    4.5 本章小结第63-65页
第五章 总结与展望第65-67页
    5.1 总结第65页
    5.2 展望第65-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-72页
攻读硕士学位期间取得的成果第72-73页

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