摘要 | 第5-7页 |
abstract | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第11-19页 |
1.1 研究工作的背景和研究意义 | 第11-12页 |
1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
1.2.1 国内研究现状 | 第13-14页 |
1.2.2 国外研究现状 | 第14-16页 |
1.3 选题依据与研究方案 | 第16-19页 |
1.3.1 选题来源与依据 | 第16-17页 |
1.3.2 本论文研究方案 | 第17-19页 |
第二章 柔性力敏薄膜导电机理分析与性能表征方法 | 第19-28页 |
2.1 柔性力敏薄膜的导电机理分析 | 第19-24页 |
2.1.1 加和性质渗流模型理论(导电通道理论) | 第19-22页 |
2.1.2 加和性质隧道效应模型 | 第22-23页 |
2.1.3 功能乘积性质压阻效应原理 | 第23-24页 |
2.2 力敏薄膜的性能表征方法 | 第24-27页 |
2.2.1 力敏薄膜表面形貌表征(SEM) | 第25页 |
2.2.2 力敏薄膜厚度和方阻测试 | 第25-26页 |
2.2.3 力敏薄膜灵敏系数测试 | 第26-27页 |
2.2.4 力敏薄膜不同压力下重复性和响应时间测试 | 第27页 |
2.3 本章小结 | 第27-28页 |
第三章 柔性薄膜压力传感器的设计制作及其阵列化 | 第28-48页 |
3.1 力敏薄膜的制备工艺研究 | 第28-30页 |
3.1.1 基体材料的选择 | 第28页 |
3.1.2 导电填料的选择 | 第28-29页 |
3.1.3 纳米改性材料的选择 | 第29-30页 |
3.1.4 有机溶剂的选择 | 第30页 |
3.2 压力传感器制备 | 第30-35页 |
3.2.1 单点式压力传感器电极衬底制备 | 第30-32页 |
3.2.2 阵列式压力传感器电极衬底制备 | 第32-33页 |
3.2.3 制备工艺流程 | 第33-35页 |
3.3 力敏薄膜性能研究 | 第35-42页 |
3.3.1 渗流阈值与最优化配比 | 第35-37页 |
3.3.2 薄膜厚度对电阻的影响 | 第37-39页 |
3.3.3 力敏薄膜电阻稳定性与材料蠕变特性分析 | 第39-42页 |
3.4 柔性压力传感器性能研究 | 第42-46页 |
3.4.1 柔性压力传感器灵敏系数测试 | 第42-44页 |
3.4.2 柔性压力传感器重复性和响应时间测试 | 第44-45页 |
3.4.3 弯曲度传感器弯曲应变测试 | 第45-46页 |
3.5 本章小结 | 第46-48页 |
第四章传感器信号采集系统设计 | 第48-65页 |
4.1 单点式压力传感器电路设计 | 第48-51页 |
4.1.1 负电源模块 | 第48-49页 |
4.1.2 放大器模块 | 第49-50页 |
4.1.3 AVR单片机控制电路设计与程序实现 | 第50-51页 |
4.2 阵列压力传感器电路设计 | 第51-59页 |
4.2.1 阵列电阻测量的交叉耦合问题 | 第51-54页 |
4.2.2AVR单片机外围电路设计 | 第54-56页 |
4.2.3 后端电路实现及AVR单片机程序设计 | 第56-59页 |
4.3 基于Labview的上位机采集系统设计 | 第59-61页 |
4.3.1 单点式压力传感器Labview上位机实现 | 第59-60页 |
4.3.2 阵列式压力传感器Labview上位机实现 | 第60-61页 |
4.4 综合测试结果 | 第61-63页 |
4.4.1 单点压力传感器测量系统测试结果 | 第61-63页 |
4.4.2 阵列压力传感器测量系统测试结果 | 第63页 |
4.5 本章小结 | 第63-65页 |
第五章 总结与展望 | 第65-67页 |
5.1 总结 | 第65页 |
5.2 展望 | 第65-67页 |
致谢 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-72页 |
攻读硕士学位期间取得的成果 | 第72-73页 |