| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第11-13页 |
| 1.2 国内外研究历史和发展现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本文的选题依据 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章S型与R型贵金属薄膜热电偶抗氧化性能研究 | 第19-41页 |
| 2.1 薄膜的制备及表征方法 | 第19-22页 |
| 2.1.1 薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| 2.1.2 薄膜的表征方法 | 第20-22页 |
| 2.2 薄膜热电偶的标定 | 第22-27页 |
| 2.2.1 热电效应 | 第22-24页 |
| 2.2.2 热电偶基本定律 | 第24-25页 |
| 2.2.3 薄膜热电偶的标定方法 | 第25-26页 |
| 2.2.4 标定系统 | 第26-27页 |
| 2.3 S型与R型贵金属薄膜热电偶抗氧化性能研究 | 第27-40页 |
| 2.3.1 Al_2O_3陶瓷基片上S型与R型薄膜热电偶的制备 | 第27页 |
| 2.3.2 S型与R型薄膜热电偶的抗氧化性能研究 | 第27-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 陶瓷基底上贵金属薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第41-54页 |
| 3.1 功能层膜厚对S型贵金属薄膜热电偶抗氧化性能及热电性能的影响 | 第41-46页 |
| 3.1.1 Al_2O_3陶瓷基底上S型贵金属薄膜热电偶的制备 | 第41-42页 |
| 3.1.2 功能层膜厚对热电偶抗氧化性能及热电性能的影响 | 第42-46页 |
| 3.2 保护层膜厚对R型贵金属薄膜热电偶抗氧化性能及热电性能的影响 | 第46-53页 |
| 3.2.1 Al_2O_3陶瓷基底上R型贵金属薄膜热电偶的制备 | 第46-48页 |
| 3.2.2 保护层膜厚对热电偶抗氧化性能及热电性能的影响 | 第48-53页 |
| 3.3 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 镍基高温合金上R型贵金属薄膜热电偶的制备及性能研究 | 第54-63页 |
| 4.1 镍基高温合金上R型贵金属薄膜热电偶的制备 | 第54-57页 |
| 4.1.1 镍基高温合金上R型贵金属薄膜热电偶的制备工艺 | 第55-56页 |
| 4.1.2 合金衬底上膜热电偶绝缘性能及热电性能的标定 | 第56-57页 |
| 4.2 Al_2O_3绝缘层膜厚对薄膜热电偶绝缘性能及热电性能的影响 | 第57-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第70-71页 |
