| 摘要 | 第9-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 大行程定位平台的研究现状及分析 | 第13-19页 |
| 1.2.1 高精密定位技术的研究 | 第13-14页 |
| 1.2.2 音圈电机微动平台的研究现状 | 第14-16页 |
| 1.2.3 大行程定位平台的研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 研究的意义 | 第19-20页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 大行程双级驱动定位平台方案设计 | 第22-31页 |
| 2.1 双级驱动定位平台总体设计 | 第22-28页 |
| 2.1.1 宏动平台构成 | 第22-26页 |
| 2.1.2 微动平台构成 | 第26-28页 |
| 2.2 双级驱动定位平台的控制原理 | 第28-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 波纹管宏动平台的建模和控制 | 第31-41页 |
| 3.1 波纹管定位平台建模分析 | 第31-34页 |
| 3.2 宏动平台的控制方法研究 | 第34-37页 |
| 3.3 PID控制及仿真 | 第37-40页 |
| 3.3.1 PID控制器的基本原理 | 第37-39页 |
| 3.3.2 宏动平台PID建模仿真 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 音圈电机驱动微动平台的建模和控制 | 第41-51页 |
| 4.1 音圈电机及建模分析 | 第41-44页 |
| 4.1.1 音圈电机的工作原理 | 第41-43页 |
| 4.1.2 音圈电机建模 | 第43-44页 |
| 4.2 音圈电机驱动的微动台建模分析 | 第44-50页 |
| 4.2.1 控制系统 | 第44-46页 |
| 4.2.2 音圈电机驱动的微动台的电流环设计 | 第46-49页 |
| 4.2.3 音圈电机驱动微动台的位置设计 | 第49-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 微动平台的闭环控制系统 | 第51-66页 |
| 5.1 音圈电机闭环控制系统 | 第51页 |
| 5.2 音圈电机驱动技术 | 第51-55页 |
| 5.2.1 双极性PWM驱动技术 | 第51-53页 |
| 5.2.2 双极性H桥的脉动电流研究 | 第53-55页 |
| 5.3 驱动板主要部分的介绍 | 第55-58页 |
| 5.3.1 MOS管的选择 | 第55页 |
| 5.3.2 驱动电路 | 第55-57页 |
| 5.3.3 电流采样信号处理和过流保护环节 | 第57-58页 |
| 5.4 控制系统的软件设计 | 第58-61页 |
| 5.4.1 软件主程序设计 | 第59页 |
| 5.4.2 前馈控制算法的实现 | 第59-61页 |
| 5.5 LABVIEW的上位机软件 | 第61-65页 |
| 5.5.1 Lab VIEW软件和虚拟仪器的介绍 | 第61-62页 |
| 5.5.2 Lab VIEW串口的使用 | 第62-63页 |
| 5.5.3 Lab VIEW生产者消费者模式的思想 | 第63-65页 |
| 5.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 双级驱动定位平台的实验研究 | 第66-80页 |
| 6.1 波纹管驱动定位平台实验研究 | 第66-70页 |
| 6.1.1 波纹管驱动定位平台实验系统搭建 | 第66-67页 |
| 6.1.2 宏动平台行程测试 | 第67-69页 |
| 6.1.3 宏动定位平台精度测试 | 第69-70页 |
| 6.2 音圈电机定位平台实验系统研究 | 第70-72页 |
| 6.2.1 音圈电机定位测试平台搭建 | 第70-71页 |
| 6.2.2 音圈电机定位实验 | 第71-72页 |
| 6.3 微动平台迟滞模型 | 第72-79页 |
| 6.3.1 激励函数的改进 | 第73-74页 |
| 6.3.2 神经网络的结构 | 第74-75页 |
| 6.3.3 学习算法的确定 | 第75-76页 |
| 6.3.4 实验与分析 | 第76-79页 |
| 6.4 本章小结 | 第79-80页 |
| 第7章 总结与展望 | 第80-82页 |
| 7.1 总结 | 第80-81页 |
| 7.2 展望 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及科研工作 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86页 |